Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9351453 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed est un graveur/asher qui est utilisé pour la fabrication avancée de semi-conducteurs. Il est conçu pour un débit optimal, et est capable de traiter jusqu'à un maximum de 600 plaquettes par heure. C'est un graveur haute performance à haut débit qui est conçu pour les tâches les plus exigeantes dans le traitement avancé des dispositifs semi-conducteurs. La technologie de base de NOVELLUS Speed etcher est son système de gaz high LAM RESEARCH Speed combiné à sa source de plasma avancée. Le système de gaz utilise un réseau de distributeurs de gaz, ce qui permet une répartition uniforme du gaz sur la surface de la plaquette en cours de traitement, tandis que la source de plasma a une large gamme de types de gaz et de pressions à choisir. Cela permet un contrôle précis du processus de gravure, un contrôle fin de la taille des caractéristiques latérales et une optimisation efficace du débit global en usine. Le procédé de gravure est basé sur le même principe que la gravure ionique réactive (RIE). La vitesse est équipée d'une chambre de serrure, d'une chambre de gravure, d'une source de plasma et d'un système de gaz. Les plaquettes sont chargées dans la chambre de serrure où elles sont soumises à des procédés de pré-nettoyage et de prétraitement pour préparer la surface de la plaquette à traiter. Après les procédés de pré-nettoyage et de pré-traitement, les plaquettes sont transférées dans la chambre de gravure où un gaz réactionnel y est injecté. La pression et le type de gaz utilisés dans la chambre sont contrôlés pour obtenir les résultats de gravure souhaités. Le plasma est alors généré dans la chambre de gravure pour amorcer le processus de gravure et les molécules de gaz réactionnel chauffées réagissent avec la surface de la plaquette pour former des films superficiels minces qui sont ensuite gravés. L'etcher dispose également de plusieurs modules d'interfaçage de contrôle tels qu'un paquet de diagnostic in situ, un contrôle manuel et un contrôle avancé de l'utilisateur pour garantir des résultats de gravure optimaux. La capacité de surveiller et de contrôler l'ensemble du processus, du pré-nettoyage et pré-traitement à la gravure, permet une uniformité maximale du processus et des excursions minimales. LAM RESEARCH/NOVELLUS Speed etcher s'est avéré être une solution de gravure efficace, fiable et abordable pour une production à haut volume. Sa flexibilité et son interface de contrôle conviviale en font un outil idéal pour les fabricants qui cherchent à réduire les coûts de fabrication et à augmenter le débit de production. Qu'il soit utilisé pour la gravure en profondeur d'appareils ou simple planarisation et polissage chimique-mécanique, NOVELLUS Speed etcher fournit les meilleurs résultats.