Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293614948 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher conçu pour faciliter le traitement avancé des semi-conducteurs. Il dispose d'une technologie de carrelage à haut débit co-planaire, qui supporte des densités de motifs supérieures à 20K points matriciels, permettant un débit plus élevé et un débit plus rapide de la couverture du dispositif. De plus, NOVELLUS Vector Express est également capable d'effectuer des transferts de couches multi-motifs sur des épaisseurs de couches non uniformes ainsi que des gravures sèches et humides, ce qui permet à l'utilisateur de mieux contrôler son processus de gravure. LAM RESEARCH Vector Express est équipé d'une suite logicielle complète qui comprend à la fois le traitement par lots et des outils d'optimisation automatique. Cela permet aux utilisateurs de tirer parti des combinaisons améliorées d'étapes de processus, y compris la gravure, le revêtement conforme, la rétro-impression et le marquage tout en fournissant des résultats uniformes et répétitifs. La suite logicielle offre également des capacités de surveillance thermique et électrique, contribuant à garantir des résultats uniformes et répétitifs sur plusieurs wafer runs. En termes de spécifications techniques, Vector Express offre une variété de taux de gravure allant de 0,1 à 1 µm/min, avec une répétabilité de ± 0,4 µm/min pour une fente horizontale à un seul bord jusqu'à 10 µm de largeur. Il est également capable d'avoir une taille de chambre de 920 x 700 mm et est conçu pour des plaquettes jusqu'à 12 pouces et supporte une variété de matériaux de plaquettes. Conçu pour répondre aux besoins évolutifs du marché des semi-conducteurs, LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express met en valeur l'engagement de NOVELLUS à fournir des équipements de gravure et d'ashing haut de gamme. Sa suite logicielle et ses spécifications techniques offrent aux utilisateurs une puissante boîte à outils pour les aider à réaliser des processus de gravure précis et fiables. NOVELLUS Vector Express est un ajout précieux au processus de fabrication des semi-conducteurs qui permet aux utilisateurs de créer des produits avec une plus grande précision et un débit plus rapide.