Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293625918 à vendre en France
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ID: 293625918
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
System, 12"
Process: TEOS
2010 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher entièrement automatisé conçu pour fournir un débit élevé, une qualité de produit élevée et des performances de processus répétables avec un faible coût de propriété. NOVELLUS Vector Express doit ses performances supérieures à son design robuste et fiable ainsi qu'à son architecture modulaire et évolutive. RECHERCHE LAM Vector Express fonctionne sur le principe du polissage chimico-mécanique (CMP) : combinaison de la force mécanique utilisée pour enlever les matériaux de surface et de l'action chimique utilisée pour dissoudre les autres matériaux exposés. Cela permet à Vector Express d'éliminer efficacement les matériaux de surface indésirables des pièces, des niveaux ultra-précis jusqu'aux profondeurs nanométriques, y compris les films d'aluminium, de tungstène et d'autres métaux. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est livré avec une large gamme de configurations de chambres pour répondre à diverses exigences des clients, y compris une combinaison de processus humide/sec, gravure plasma et gravure sèche basse pression. Chaque configuration est livrée avec des outils de gravure qui peuvent être échangés rapidement, sans besoin de requalification de chambre. La chambre est équipée de fonctions mécaniques automatisées telles que la détection du point d'extrémité, l'évaluation de la chambre et les processus d'outils individuels, rendant le fonctionnement intuitif et efficace. NOVELLUS Vector Express dispose également d'un équipement intégré de gestion de la production qui suit automatiquement les progrès de chaque plaquette, donnant aux clients une visibilité en temps réel dans leurs opérations de gravure/aspiration. Le système offre également un moyen de stocker et de rappeler les données des recettes, assurant des résultats cohérents et prévisibles tout au long du processus de production. LAM RESEARCH Vector Express est conçu pour répondre aux exigences de comptage serré des particules, avec une unité de contrôle atmosphérique numérisée qui peut éliminer les particules ambiantes. La machine offre également une solution avancée de contrôle des particules, avec un outil de mesure directe des particules qui permet aux ingénieurs du procédé d'ajuster avec précision les conditions de traitement afin de minimiser la contamination. Enfin, Vector Express est livré avec une suite de solutions logicielles qui réduisent les temps d'arrêt et améliorent les rendements des processus. Ces solutions, telles que des outils de diagnostic proactifs intégrés et des outils de suivi des processus, permettent aux clients de maximiser l'efficacité et la productivité et de réaliser des économies au niveau suivant. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher avancé qui offre des performances robustes, fiables et un débit supérieur, avec une répétabilité exceptionnelle et un faible coût de possession. Avec son architecture modulaire et ses solutions logicielles intégrées, NOVELLUS Vector Express facilite le contrôle et la surveillance des processus, améliore les rendements et réduit les temps d'arrêt.
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