Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293652040 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher plasma avancé utilisé dans les processus de microfabrication de précision. Cet outil polyvalent dispose d'une source de plasma haute performance capable de graver et d'aspirer une variété de matériaux, y compris des métaux, des isolants et des semi-conducteurs. NOVELLUS Vector Express dispose d'une pression et d'une consigne réglables optimisées pour chaque type de substrat, ce qui donne des résultats de gravure supérieurs sans endommager ni le substrat ni le procédé. Avec son générateur double RF et sa source dédiée haute tension, LAM RESEARCH Vector Express permet des profondeurs de gravure profondes et une précision de niveau micron pour des structures complexes. Vector Express est idéal pour une production à haut débit, avec des temps de cycle rapides, un minimum de vide et de conditionnement de la chambre de réaction, et une faible utilisation chimique. Son fonctionnement hautement automatisé permet une configuration et une surveillance des paramètres faciles, permettant des résultats rapides et reproductibles. Le système dispose également d'une fonction d'automatisation qui calibre la source de plasma pour une performance optimale. Grâce à ses diagnostics avancés et à son système de mélange et d'analyse de gaz embarqué, LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express garantit une qualité de gravure exceptionnelle et une variabilité de processus minimisée. En plus de la gravure, NOVELLUS Vector Express est capable d'aspirer, de décaper les couches et d'autres opérations de traitement à sec. Sa plate-forme de distribution de gaz polyvalente et robuste est optimisée pour des procédés chimiques spécifiques et fournit des résultats de gravure répétitifs indépendants du substrat. Et avec sa tête de douche haute performance, il peut graver et graver jusqu'à 6 "wafers sans dégradation des performances du processus. LAM RESEARCH Vector Express dispose également d'une sauvegarde unique de gravure de plasma, permettant aux utilisateurs de restaurer rapidement et facilement les paramètres de gravure dans un état préalable optimisé. Vector Express est un outil idéal pour les applications de microfabrication de précision, offrant vitesse, précision et fiabilité qui déplace les processus de fabrication rapidement de la phase de R&D à la production à haut volume.