Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293748930 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est une technologie avancée de graveur et asher conçue spécifiquement pour des applications à haut volume dans l'industrie des semi-conducteurs. L'équipement combine une technologie avancée de gravure/cendres comme la gravure assistée par plasma (PAE) avec de multiples substrats, des configurations avancées de barillet/pompe et d'autres technologies de support pour optimiser le processus. Le système offre un débit et des rendements supérieurs en combinant plusieurs technologies de processus en une seule plate-forme. La PAE peut atteindre des taux de gravure élevés et une rugosité faible avec des défauts minimisés tels que la vaisselle de plaquette et les déformations des bords. De plus, le processus de gravure et de gravure des cendres est facilité par l'utilisation de plusieurs substrats, tels que le verre flotté, le quartz fondu et le Corning HDTV. Grâce à une combinaison de technologies avancées de gravure et de cendres, NOVELLUS Vector Express est en mesure de contrôler étroitement une variété de matériaux et de substrats. LAM RESEARCH La plate-forme Vector Express est hautement configurable et peut être utilisée pour personnaliser des solutions pour diverses exigences de processus. La plateforme est composée de deux modules principaux : Vector Processing Cell et Multi Process Controller. La cellule de traitement vectorielle comprend tous les composants du procédé de gravure/cendres, tels que les supports de substrat, le mandrin sous vide, la source de plasma, les stations de gravure et de cendrage et une unité de refroidissement. Le Multi Process Controller permet aux utilisateurs d'exécuter facilement plusieurs processus, tels que la gravure et l'ashing, en une seule fois. Vector Express dispose également de fonctions avancées de surveillance à distance, de diagnostic et de traçabilité. La surveillance à distance permet aux utilisateurs d'accéder à tous les détails concernant les processus de gravure/cendres, tels que les taux de gravure/cendres, les températures, la pression, etc. Les utilisateurs peuvent également tracer des recettes de gravure pour la traçabilité et la reproductibilité. La machine est également conçue avec la surveillance complète de l'outil, de sorte que les utilisateurs peuvent voir les décomptes de gravure/cendres courants, les données de pression et de température, et les décomptes de cycles. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express, avec ses technologies de pointe, permet une gravure et un cendrage à haut volume et efficace avec un contrôle des processus serré et un débit et des rendements supérieurs. La polyvalence de la plateforme lui permet d'être personnalisée pour répondre à un large éventail d'exigences de processus, et ses fonctionnalités avancées de surveillance à distance et de traçabilité fournissent un contrôle complet et la gestion des processus.