Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293775691 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express (VX) est un équipement de graveur/asher, conçu pour la production de modèles de circuits précis et de haute qualité dans une variété de processus d'application. Le système VX est équipé d'une technologie de pointe, qui lui permet de réaliser des motifs précis, tout en obtenant un débit de volume élevé et d'excellents résultats d'uniformité. Le VX utilise un logiciel de contrôle d'ablation avancé, qui lui permet de contrôler avec précision les processus de gravure et d'ashing. Cela permet à l'utilisateur de définir le motif exact à graver, ainsi que la profondeur exacte de gravure et la précision latérale. L'unité est encore améliorée par la fonction Auto-Align et Auto-Rotate de LAM, qui déplacent et tournent les motifs pour un meilleur alignement et la précision. Le VX est également très modulaire, permettant aux utilisateurs de configurer la machine en fonction de leurs besoins. L'outil utilise un processus Jet-Step, pour assurer des modèles uniformes et reproductibles. Il s'agit de plusieurs étapes, dont une pré-gravure, où le substrat est pré-revêtu d'un matériau résistant à la gravure. Ceci est suivi d'une étape de gravure principale, où la gravure proprement dite des motifs est effectuée. Enfin, l'étape de décapage permet d'éliminer tout excès de matière ou de résidu. Le VX est également équipé d'un illuminateur double à facettes multiples (DFI). Il s'agit d'un ensemble réfléchissant d'optique multi-lambertienne, composé de deux niveaux de lentilles f-theta et télécentriques. Ceci permet une gravure multidirectionnelle, permettant une gravure plus précise. L'actif intègre également un modèle de vision intégré, qui assure un enregistrement supérieur lors de la gravure. Cela garantit une qualité et une homogénéité élevées du produit fini. De plus, l'équipement est conçu pour réduire la contamination par les particules et réduire les temps d'arrêt. Il dispose d'un système de collecte de nanoparticules, conçu spécifiquement pour capturer les particules lors de la gravure, les empêchant de contaminer le substrat. Ceci comprend également une chambre de condensation, qui permet un environnement contrôlé et une capture efficace des particules. Enfin, l'unité VX dispose d'un logiciel de diagnostic avancé. Cela permet aux utilisateurs de surveiller les paramètres de gravure et d'ashing pour différents substrats, leur permettant d'effectuer des ajustements et d'optimiser la machine pour de meilleurs résultats. Toutes ces caractéristiques permettent à l'outil d'obtenir une précision, une précision et un débit inégalés, ce qui donne un produit fini de haute qualité.