Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293793396 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un équipement de graveur et asher de pointe qui permet la production à haut débit de dispositifs sub-microns. Il est optimisé pour la production de structures très complexes et à haut rapport d'aspect utilisées dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs modernes, y compris les FinFET, MURA et d'autres structures avancées. Le système NOVELLUS Vector Express associe gravure physique, sélectivité et précision. Il fournit trois modes de gravure différents : gravure isotrope, gravure directionnelle et sur-gravure. La gravure isotrope utilise un seul masque de gravure pour créer une gravure uniforme de tous les côtés. La gravure directionnelle, qui est optimisée pour les structures à haut rapport d'aspect, utilise deux masques pour une haute sélectivité verticale - permettant la gravure du haut, avec gravure latérale des côtés seulement dans les zones non couvertes par le masque. Le mode de surgravure est optimisé pour la gravure d'oxyde ultra lisse, avec une surgravure pouvant atteindre deux millimètres pour des opérations de parage précises. LAM RESEARCH Vector Express dispose également d'une unité de surveillance intégrée in situ pour l'assurance qualité de gravure. Cette machine permet un suivi continu de la détection d'endpoint et de l'optimisation des processus. Il est équipé d'une source de gravure CF4 et d'une source de surface chaude, permettant un traitement à plus haut débit pour des caractéristiques délicates et minimisant les risques d'endommagement de la couche d'oxyde sous-jacente. L'outil dispose également d'une chambre de procédé isolée, sans statique, pour assurer la plus haute qualité d'oxyde. Vector Express etcher and asher asset est conçu avec un très haut degré de modularité, de flexibilité et d'évolutivité, permettant des mises à niveau et des expansions futures. Il comprend une vaste bibliothèque de recettes et d'outils de développement de recettes, permettant les applications les plus exigeantes grâce à l'ajustement manuel et l'optimisation des paramètres du processus. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est idéal pour l'intégration de processus dans des procédés de fabrication avancés, eWLB et 3D-stacking, offrant une fiabilité améliorée et des rendements de fabrication accrus.