Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293800641 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est une technologie avancée de graveur/asher monobloc conçue pour offrir des performances plus élevées dans un large éventail d'applications. Il est capable d'effectuer des étapes de gravure et de cendres séquentiellement pour produire des résultats de haute qualité. NOVELLUS Vector Express offre une répétabilité supérieure et des temps de cycle ultra-rapides pour permettre un rendement et une flexibilité plus élevés pour une variété d'applications de gravure et de cendres. La machine est capable de traiter à haut débit dans des procédés de gravure qui nécessitent une bonne homogénéité et répétabilité, et est conçue pour un contrôle précis de la température du substrat. Il dispose d'une architecture modulaire avancée qui intègre deux chambres de traitement NOVELLUS, un générateur hyperfréquence et un générateur RF en une seule unité. LAM RESEARCH Vector Express fournit un traitement rapide et précis de diverses applications de gravure et de cendres, telles que le MEMS, les semi-conducteurs composés, l'amincissement des plaques de silicium et le traitement des métaux épais. L'équipement à haut débit traite de petites caractéristiques (0,2 um) dans un rapport d'aspect élevé (3:1) à une vitesse de gravure allant jusqu'à 80um/min. Vector Express est capable de traiter un large éventail de matériaux, dont le silicium, l'arséniure de gallium, le nitrure de titane, la matière organique, l'aluminium et le polyimide. De plus, sa configuration intégrée de chambre multi-processus permet le traitement des gravures et des cendres en un seul cycle. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est pré-chargé avec quatre recettes process, une dédiée à la gravure et trois recettes ashing. NOVELLUS Vector Express est un système de gravure/cueillette précis et rentable qui offre un meilleur contrôle des processus de dépôt métallique et organique. Il dispose de plusieurs fonctions avancées de contrôle de processus, y compris un contrôle différentiel de température précis pour améliorer la précision du processus, auto-interlock pour un chargement plus rapide du substrat, et auto-ajustement pour une uniformité optimale. En outre, l'unité comprend une interface utilisateur graphique tactile pour un fonctionnement facile, un langage de gabarit intuitif et une programmation graphique interactive qui simplifie la configuration de l'équipement et réduit les temps d'arrêt. LAM RESEARCH Vector Express est également équipé d'une machine de surveillance et de contrôle des processus qui utilise les données de processus pour éliminer les rendements potentiels et les temps d'arrêt. Vector Express est une solution de gravure avancée et fiable qui offre une meilleure uniformité et répétabilité, ainsi qu'un débit plus élevé pour une gamme d'applications de gravure et de cendres. Son architecture intégrée et modulaire permet un excellent contrôle des processus, garantissant des résultats uniformes et reproductibles. L'outil est fiable et facile à utiliser, et est pré-chargé avec un certain nombre de recettes de processus qui offrent une flexibilité accrue pour la gravure et le traitement des cendres. Sa programmation graphique intuitive et son outil de suivi et de contrôle des processus en font un choix idéal pour des solutions de gravure et d'ashing rentables.