Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #293802072 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un équipement de graveur/asher pour la lithographie de plaquettes. Le système est compatible avec une gamme de photorésists standard et peut supporter jusqu'à cinq processus de gravure différents. NOVELLUS Vector Express est conçu pour les applications d'exposition aux rayons UV et offre un débit d'alimentation supérieur, une uniformité améliorée et une large fenêtre de fonctionnement. Cette unité dispose d'un mandrin rotatif à six champs qui fonctionne avec des motifs positifs et négatifs, permettant à la fois des processus de gravure simple et double face. Il dispose également d'un réseau multi-ouvertures qui offre une plus grande uniformité d'exposition sur de grandes surfaces. Son champ de lumière est composé d'une gamme sélectionnable de sources d'exposition LED rouges, vertes et bleues qui peuvent être ajustées pour différents processus de gravure afin d'assurer la précision et la qualité de chaque plaquette. Cette machine dispose également d'un contrôleur de modulation de largeur d'impulsion avancée (PWM) qui aide à contrôler avec précision les taux de gravure. Le contrôleur PWM comprend un outil de diagnostic intégré qui minimise le temps d'optimisation et améliore le rendement. L'actif prend en charge les processus programmables en mémoire pour les rappels rapides de lots et de recettes. Il est également compatible avec une gamme de contrôleurs populaires de modèles de lithographie tels que DMD, DFB, ACORN, et SMD. De plus, LAM RESEARCH Vector Express est conçu avec un processus de dépôt descendant. Cela permet un meilleur contrôle des biais de bord, des débits plus élevés et une meilleure uniformité qui se traduisent par des rendements plus élevés. L'équipement dispose également d'un système de distribution de gaz multi-zones qui aide à optimiser les motifs des photorésistances et permet des cycles de processus plus rapides avec moins de surexposition que les autres systèmes de lithographie. En outre, Vector Express dispose de fonctionnalités de sécurité avancées qui gardent l'unité en sécurité d'utilisation. Il comprend un processus de dépressurisation et de purge en deux étapes avant la manipulation des plaquettes. Un vide ultra-élevé est maintenu à toutes les étapes du processus de lithographie et ses étages de masque refroidis à l'eau ensurécoolant est toujours disponible pour minimiser la contrainte sur la plaquette. Avec ses capacités de lithographie puissantes et efficaces, LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est une solution idéale pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à produire des puces et des plaquettes de haute qualité. Son ensemble de fonctionnalités étendu offre la polyvalence nécessaire pour supporter divers processus de gravure et ses fonctionnalités de sécurité avancées le rendent facile à utiliser, garantissant aux utilisateurs un contrôle total de leur production de plaquettes.