Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9099742 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un outil de graveur et asher haute performance utilisé dans les processus de microfabrication. C'est un système multi-chambres avec huit chambres indépendantes capables d'effectuer plusieurs étapes de processus simultanément. NOVELLUS Vector Express est une plate-forme pour la gravure de diélectriques, de métaux, de photorésistants, de matériaux bas-k, ainsi que des applications de remplissage de lacunes et de nettoyage. L'etcher a une puissance de source de plasma élevée (PSP) de 1360W fonctionnant en mode de fonctionnement parallèle. Cette puissance élevée assure la réussite des processus de gravure à grande vitesse qui fournissent des besoins de microfabrication par des débits élevés. En outre, le PSP élevé est bénéfique pour la gravure des matériaux sensibles à la gravure et les films difficiles à graver. De plus, LAM RESEARCH Vector Express est adapté à la gravure d'empilements multicouches composés de matériaux traditionnels et avancés. La flexibilité de Vector Express est encore améliorée grâce à son système de refroidissement efficace qui permet de faire fonctionner ses chambres dans une plage de 0 à 110 ° C. Ceci assure la gravure de presque n'importe quel matériau sans endommagement ou dégradation du substrat. Le rouleau et le mandrin de LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express contrôlés en température assurent un préchauffage uniforme et précis du substrat afin d'obtenir une gravure uniforme sans distorsion de motif. Il a un changement climatique rapide de ± 20 ° C en 5 secondes, ce qui peut réduire les défauts et améliorer le rendement du courant. De plus, sa précision de contrôle thermique est également excellente avec un taux de stabilité supérieur à 0,1 ° C Cela rend NOVELLUS Vector Express idéal pour une gravure réussie de motifs délicats et pour augmenter le rendement. LAM RESEARCH Vector Express possède également un haut degré de contrôle des processus. Son interface basée sur les processus a été conçue pour permettre aux utilisateurs de contrôler tous les paramètres de gravure, tels que l'intensité du plasma, le débit de gaz, la fréquence RF, la pression et le mécanisme de refroidissement. Tous ces réglages sont facilement disponibles à partir de l'interface et peuvent être surveillés et ajustés pour affiner le processus de gravure facilement. En conclusion, Vector Express est un outil de premier plan qui offre une flexibilité inégalée pour la gravure de divers matériaux de microfabrication. Il est bien adapté pour la gravure de hautes caractéristiques de ratio d'aspect et pour travailler sur des micro-motifs complexes en raison de son contrôle de température efficace et des capacités PSP élevées. En outre, son interface de processus facile à utiliser facilite le contrôle et la surveillance de tous les paramètres de gravure. Toutes ces caractéristiques font de LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express un excellent choix pour ceux qui cherchent à effectuer des opérations de gravure et de cueillette efficaces, précises et de haute qualité.