Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9169612 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un équipement de gravure performant et efficace utilisé dans les industries semi-conductrices et connexes. Il est conçu pour assurer une gravure haute précision, fiable et rapide de substrats tels que des plaquettes de quartz, des substrats de silicium et d'autres matériaux conducteurs et non conducteurs dans un environnement à haute température. NOVELLUS Vector Express est capable de graver des rapports d'aspect allant jusqu'à 1:25 et offre un débit élevé allant jusqu'à 1,5 plaquette par minute. LAM RESEARCH Vector Express utilise plusieurs chambres de gravure haute performance, chacune avec une chambre de procédé contrôlée indépendamment et des systèmes de pompage dédiés. Ce système est conçu pour réduire le temps de dépôt, minimiser les dommages aux plaquettes et assurer une uniformité de processus supérieure. L'unité offre également un contrôle fin du processus de gravure, permettant un contrôle précis des caractéristiques critiques. Dans chaque chambre de gravure, la machine utilise un contrôle de la température et de la pression multi-zones pour créer un environnement cohérent dans chaque chambre. Cet outil dispose d'un chauffage et d'un refroidissement intégrés pour une gravure de haute fiabilité. De plus, la chambre de gravure utilise un actif spécifique de mélange de gaz qui injecte précisément des gaz réactifs à base de fluor (par exemple SF6, NF3 et CF4) dans la chambre de gravure avec précision et contrôle. Vector Express dispose également d'un modèle de contrôle d'impédance de chambre avancé (CIC) qui fournit un plasma uniforme pour améliorer les performances de gravure. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express utilise une interface graphique conviviale et intuitive avancée pour faciliter le contrôle et le développement des programmes. Cet équipement permet également une intégration transparente avec tous les systèmes de contrôle de gravure standard pour une flexibilité et une productivité maximales. Il est conçu pour un minimum de maintenance et de mise à jour, et est certifié pour les normes de sécurité SEMI pour la sécurité maximale de l'opérateur. NOVELLUS Vector Express est capable de produire une excellente qualité de gravure et des performances dans une variété de matériaux et d'applications, ce qui en fait un choix fiable et efficace pour les applications de gravure à haut volume. C'est une solution rapide et économique qui offre une fiabilité, une efficacité et une uniformité supérieures.