Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9215207 à vendre en France
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LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un équipement de graveur/asher conçu pour le traitement à haut débit et à haute densité de motifs. NOVELLUS Vector Express dispose d'une architecture modulaire qui supporte à la fois des zones entières et partielles, offrant un haut degré de personnalisation et de flexibilité. Il est conçu pour permettre une adaptation simple et facile des recettes de processus, en fonction de la configuration du système. LAM RESEARCH Vector Express dispose d'une grande unité centrale de traitement, d'un réseau de canaux mémoire et d'une unité de mise en scène à axe Y à moteur à courant continu de haute précision. La machine Y-axis staging permet un déplacement précis de la plaquette tout au long du processus, avec la capacité de déplacer la plaquette n'importe où dans la zone de processus. L'outil comprend également une interface informatique haute vitesse, permettant la surveillance et le contrôle du processus à partir d'un endroit distant. Vector Express est capable de traiter des plaquettes de 450 mm avec une résolution de motif haute densité. Il dispose également d'un outil de contrôle de planarisation de haute précision ainsi que de systèmes d'inspection vidéo de haute précision. Les nombreux capteurs du modèle offrent des capacités de surveillance et de contrôle en temps réel, permettant à l'équipement d'atteindre des niveaux de débit élevés avec un temps d'arrêt minimal et une efficacité maximale. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express intègre une gamme complète d'outils logiciels et de contrôles de processus pilotés par le logiciel, tels que CDS (Computer-Directed-Scheduling) et SLE (Software-Led-Efficiency). Ces outils logiciels permettent aux clients d'optimiser le système pour leurs besoins de production, ainsi que d'intégrer NOVELLUS Vector Express dans leur environnement de production existant. L'unité est capable d'exécuter une variété de recettes de processus de gravure et de cueillette. Ces recettes peuvent être optimisées pour diverses exigences de gravure et de protection de substrat. De plus, LAM RESEARCH Vector Express permet aux clients de développer des processus de gravure personnalisés pour répondre à des applications spécifiques. Les processus de gravure et de cendrage de la machine sont conçus pour répondre aux normes industrielles les plus élevées en termes de qualité et de durabilité. Vector Express est AEC-Q100 certifié, en indiquant son intégrité. L'outil répond également aux normes d'émission de composés organiques volatils imposées par l'Agence de protection de l'environnement. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher idéal pour les clients qui ont besoin de débit de processus à haute vitesse, de résolution de motif haute densité et de qualité, des recettes personnalisables. Il est conçu pour fournir des processus de gravure et d'ashing précis et fiables tout en réduisant les temps d'arrêt et en améliorant l'efficacité opérationnelle globale.
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