Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9235816 à vendre en France
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ID: 9235816
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
CVD System, 12"
2003 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un équipement avancé de graveur/asher utilisé pour créer des surfaces finement modelées avec des agencements complexes. Il dispose d'un étage XY haute résolution pour l'alignement de précision de la plaquette et est équipé d'un mandrin à vide direct sur disque pour une manipulation et un positionnement optimaux de la plaquette. Le système dispose d'un large éventail d'options de processus, permettant une flexibilité dans la production. Il est conçu pour une production à haut volume avec des vitesses de traitement rapides et précises, offrant une répétabilité précise pour la cohérence sur plusieurs séries. NOVELLUS Vector Express est livré avec une gamme d'outils et de fonctionnalités pour des processus reproductibles tels qu'un étage d'entraînement linéaire à 5 axes très précis, une grande source de faisceau électronique de 8 pouces et un gestionnaire de recettes intégré pour la gestion complète des processus. Il est également livré avec un ensemble complet d'agents de nettoyage intelligents automatisés tels que des nettoyants à pulvérisation en place et des serrures intégrées pour une manipulation fiable des plaquettes. Avec son procédé précis, flexible, contrôlable et reproductible, LAM RESEARCH Vector Express est un choix idéal pour graver/aser les plans haute densité. L'unité est également conçue pour la compatibilité avec la dernière génération de technologie submicronique et est livré Standard avec balayage multi-zone pour un fonctionnement sans défaut. Vector Express est construit avec un faible entretien, une disposition efficace qui le rend facile à utiliser et à entretenir, et s'intègre facilement avec d'autres machines pour un environnement de production homogène. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express dispose également d'une gamme de dispositifs de sécurité pour protéger ses opérateurs, dont une machine complète de détection des fuites de gaz, une surveillance de l'espace confiné et un outil de ventilation. Il est également construit avec des capacités de télécommande afin que les opérateurs puissent surveiller les opérations des actifs à distance. Avec toutes ces fonctionnalités, NOVELLUS Vector Express est une solution de gravure/ashing fiable et sûre pour les lignes de production.
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