Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9251477 à vendre en France
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Le LAMLAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un leader industriel utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de haute précision. Cette machine utilise une technologie de pointe pour obtenir un débit élevé et une gravure précise de différentes couches de dispositifs. NOVELLUS Vector Express est équipé d'une source de plasma Samco de confiance pour une vitesse optimisée et une fiabilité qui assure la stabilité du processus pour produire des plaquettes à haut rendement avec des défauts minimes. Ses algorithmes propriétaires DUPMAS et SAMCOFIT aident également à établir des processus stables. LAM RESEARCH Vector Express offre des vitesses de gravure rapides et un tissage précis des plaquettes grâce au contrôle serré de ses variables de processus telles que la puissance, la pression et la température. Sa technologie de pointe IXE (Ion Exchange Etching) permet également une haute précision de gravure en offrant une gamme dynamique plus large pour contrôler l'uniformité de gravure, même sur les caractéristiques de structure de ratio d'aspect élevé. En outre, ce système offre également des capacités de chargement et de tri de plaquettes efficaces. Vector Express comprend une source de plasma inductif haute densité (PIC) pour fournir la combinaison optimale de vitesse de gravure, d'anisotropie de gravure, de sélectivité de gravure, d'uniformité des plaquettes, d'uniformité de profondeur et de répétabilité des processus. Ce système est équipé d'une tête de mandrin à contrôle serré qui maintient la plaquette en place pendant la gravure, empêchant toute contamination du dos. La source du PCI peut être acheminée sans heurts vers des puissances plus élevées, ce qui réduit encore le temps de traitement. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express peut être intégré à une gamme de traitements de surface comprenant le dépôt, la gravure, le strippage et la fermentation. Il offre également des fonctionnalités avancées telles que les capacités de contrôle FOUP pour le transport des plaquettes, la traçabilité des produits de FOUP au traitement, et l'empilement automatique. Son interface conviviale offre plusieurs options et paramètres de menu qui peuvent être adaptés aux exigences de n'importe quelle application. En résumé, le LAMNOVELLUS Vector Express etcher/asher est une machine impressionnante offrant une gravure de haut débit et de précision de différentes couches d'appareils. Sa technologie IXE de pointe lui permet de produire d'excellentes plaquettes avec des défauts minimes, et sa source de plasma intégrée permet des vitesses de gravure rapides et un contrôle extrêmement serré de l'uniformité des gravures. Il est très adapté aux applications de production et de développement.
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