Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9270599 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher de pointe qui peut déposer et graver des couches d'épaisseur variable sur des substrats. Ce graveur/asher innovant utilise un Mécanisme Macro Activé Laser (LAMM) pour permettre à l'utilisateur de réaliser des modifications ultra-précises de la composition de la couche. LAMM réduit aussi considérablement le temps de cycle nécessaire à la gravure et au dépôt des couches. NOVELLUS Vector Express est adapté aux applications qui nécessitent des couches uniques ou multiples de matériaux différents, et peut déposer ou graver l'aluminium, le silicium polycristallin, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium et les matériaux de tungstène avec une grande précision. Le graveur/asher a une taille de substrat maximale de 380x380mm, et peut graver jusqu'à 0.5µm, avec une haute qualité sur les couches minces. LAM RESEARCH Vector Express dispose d'une conception d'outil unique, qui garantit des résultats de gravure cohérents et reproductibles. Le dispositif est équipé de deux lasers pré-alignés qui sont synchronisés avec la plate-forme de l'etcher. Cela permet d'obtenir des profils plasmatiques ultra lisses sur toute la zone de gravure, en contrôlant la vitesse de gravure des matériaux. Vector Express dispose également d'un balayage adaptatif intégré, qui permet une optimisation de faible puissance et des couches de gravure/dépôt précises. En raison de la grande précision et la répétabilité de LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express, il peut être utilisé pour une gamme de processus de gravure/dépôt exigeants. Il est très efficace et peut manipuler des substrats jusqu'à 200mm d'épaisseur. Le graveur est capable de produire un volume élevé et a un taux de gravure maximal de 300 plaquettes par heure. En outre, NOVELLUS Vector Express est conçu pour une maintenance minimale, grâce à son interface utilisateur facile à utiliser et des pièces rapides et faciles à remplacer. Ce graveur/asher de pointe est la solution parfaite pour tout procédé de gravure/dépôt. LAM RESEARCH Vector Express est adapté à une gamme d'applications, avec sa grande précision, sa répétabilité et son efficacité, ce qui en fait un choix idéal pour tous les besoins de production de volume élevé.