Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9294406 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher conçu pour le traitement à haut débit dans l'industrie des semi-conducteurs. NOVELLUS Vector Express est un équipement multifaisceaux haute performance et haute vitesse qui peut être utilisé pour une variété de processus de gravure et de dépôt, y compris la gravure anisotrope, la gravure isotrope et la gravure profonde. Il utilise plusieurs modes de fonctionnement pour assurer un traitement rapide, précis et ciblé des plaquettes, y compris un mode de traitement à haut débit qui peut être utilisé pour graver ou déposer rapidement des matériaux. LAM RESEARCH Vector Express utilise une source lumineuse de type laser pour assurer l'uniformité et la précision de son traitement. Son faisceau lumineux est traité à travers plusieurs composants optiques dont un dispositif miroir numérique (DMD) et un modulateur spatial de lumière (SLM). Le DMD crée une combinaison précise d'ondes lumineuses qui produisent un faisceau lumineux ressemblant à un laser, tandis que le SLM module le motif d'éclairage de sorte que le faisceau est façonné avec précision pour répondre aux besoins spécifiques d'un processus donné. Vector Express dispose également d'un système UHI-IB (Ultra High-Intensity Ion Beam) qui accélère et dirige les ions vers le substrat modélisé. Cette unité est capable de produire de meilleurs procédés de gravure en produisant plus rapidement, plus finement et plus de précisepatterns. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express utilise un tableau de gravure carrelé qui programme le placement du faisceau d'ions pour graver précisément des motifs spécifiques. Cette machine est bien adaptée pour graver des motifs profonds et complexes avec une grande qualité et reproductibilité. NOVELLUS Vector Express est largement utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs car il peut être utilisé pour graver des motifs complexes avec une grande précision et une vitesse tout en utilisant des matériaux chimiques minimes. Il est capable de produire rapidement des motifs de gravure précis, de déposer des matériaux avec une excellente conformité, et de réaliser des processus rapides avec une charge thermique très faible. LAM RESEARCH Vector Express est également entièrement compatible avec les procédés traditionnels de gravure et de dépôt, permettant aux chercheurs d'utiliser les mêmes outils, équipements et matériaux pour le traitement par voie humide ou sèche. Enfin, Vector Express est convivial et nécessite un entretien minimal, ce qui signifie qu'il peut être rapidement et facilement intégré dans les installations de laboratoire ou de production existantes.