Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9298589 à vendre en France

LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express
ID: 9298589
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
CVD System, 12" 2006 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher multi-chambres fabriqué par NOVELLUS. Il est utilisé pour la gravure de précision ou le criblage de masques et de structures structurées dans les industries semi-conductrices et électroniques, ainsi que dans des applications de recherche et de développement. Il est conçu avec la capacité d'effectuer des gravures traditionnelles et de nouvelles opérations de cendrage sur de grands substrats simples jusqu'à 200mm de diamètre. NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher de production avancé, entièrement automatisé, avec plusieurs chambres de processus pouvant accueillir une large gamme de tailles d'échantillons et de configurations. LAM RESEARCH Vector Express est équipé des principales sources de gravure et d'ashing de l'industrie, combinant la vitesse, la précision et la rentabilité de chaque procédé. Il a une capacité de gravure à basse température jusqu'à 25 ° C, avec un fonctionnement à basse pression et des capacités de contrôle de processus serrées. Vector Express assure la stabilité de la température dans les ± 0,1 ° C de la consigne, avec des étapes de processus dans un dixième de seconde et une précision de temps de vol, offrant une excellente répétabilité du processus. Son interface utilisateur intuitive rend la programmation rapide et facile, à distance et à la machine. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est le premier à combiner à la fois isolation de chambre et recuit thermique rapide (RTA), fournissant un système de gravure unique et ashing qui peut répondre à un large éventail d'exigences de processus. Il a une configuration extensible, évolutive et très flexible permettant une grande flexibilité pour différents défis de gravure. Les chambres de traitement peuvent être échangées facilement et rapidement, selon les besoins du procédé. La machine possède des fonctions de micro-lanceur et de balayage de haute précision pour l'automatisation complète des processus de gravure et de cueillette. NOVELLUS Vector Express est également conçu pour un fonctionnement fiable dans une grande variété d'environnements de fabrication robustes, avec un système de contrôle conçu pour réduire les temps d'arrêt et les coûts de maintenance. Cette machine répond également à toutes les réglementations et normes de sécurité les plus récentes, avec une technologie de pointe offrant un fonctionnement fiable, peu coûteux et des performances de plus longue durée de vie. LAM RESEARCH Vector Express est un choix idéal pour tous ceux qui recherchent le plus haut niveau de précision et de fiabilité dans leurs opérations de gravure et d'ashing.
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