Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9314358 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher conçu pour un contrôle de gravure précis dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il offre des capacités et une stabilité de procédé supérieures, avec un taux de dépôt élevé pouvant atteindre 200 000 plaquettes par heure, et un dépôt de substrat peu défectueux. NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher flexible, à haute vitesse et plein champ avec un logiciel de contrôle de processus avancé. Les fonctionnalités logicielles avancées permettent de définir des conditions de gravure précises pour chaque gravure et de s'assurer que les opérations de gravure peuvent être exécutées dans des conditions de processus stables. LAM RESEARCH Vector Express etcher/asher est conçu avec un système automatisé de chargement/déchargement de plaquettes pour réduire le travail manuel et assurer un minimum de risques de contamination, ainsi qu'un réseau de distribution de gaz pour fournir une stabilité optimale des espèces chimiques/réactifs. Il est capable de graver et d'aspirer des structures à haut rapport d'aspect, ainsi que des caractéristiques à haute résolution, en utilisant une variété de gaz tels que le chlore, le fluor, l'hexafluorure de soufre et l'oxygène. Le graveur/asher est conforme aux dernières normes de l'industrie des semi-conducteurs, telles que SEMI P-12, P-17 et P-25. Vector Express etcher/asher utilise une interface logicielle modulaire et conviviale pour gérer toutes les opérations de gravure/ashing. Le logiciel fournit un environnement facile à utiliser pour la configuration des paramètres de gravure tels que la durée du processus, la température, le niveau de puissance et le débit, ainsi qu'une interface utilisateur intuitive pour la surveillance des opérations de gravure/ashing. Le logiciel prend également en charge la surveillance du débit en temps réel, le stockage de l'historique des processus et les outils d'analyse post-processus. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express etcher/asher peut être utilisé pour une variété d'opérations de gravure/ashing telles que l'isolation de tranchées peu profondes (STI), l'isolation de tranchées profondes (DTI) gravure, la gravure sélective d'oxyde, le nettoyage des plaquettes et le dépôt de métal. L'etcher/asher est conçu avec un système de vision embarqué pour permettre aux opérateurs de vérifier visuellement les structures des fonctions avant les opérations de gravure/ashing. En outre, le graveur/asher est conçu avec une technologie de gravure plasma plein champ, qui fournit une profondeur de gravure homogène sur l'ensemble de la plaquette, indépendamment de la taille de la caractéristique ou de l'emplacement sur la plaquette. NOVELLUS Vector Express etcher/asher est une machine puissante et flexible pour les fabricants de semi-conducteurs. Il offre des capacités de gravure/cueillette supérieures, un excellent contrôle des procédés et un risque de contamination réduit, ce qui en fait un excellent choix pour les opérations de gravure/cueillette dans les flux de procédés semi-conducteurs avancés.