Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9362218 à vendre en France
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ID: 9362218
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
CVD System, 12"
2005 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher avancé qui permet une gravure et une cueillette précises des structures semi-conductrices. NOVELLUS Vector Express utilise des technologies de pointe pour obtenir des taux de gravure supérieurs, jusqu'à dix fois plus rapides que les procédés de gravure traditionnels. LAM RESEARCH Vector Express est un équipement de gravure et de cueillette entièrement intégré et rentable, conçu pour permettre une flexibilité et une productivité maximales dans la fabrication de semi-conducteurs. Vector Express offre un débit élevé avec son puissant système de contrôle, capable d'une vitesse maximale de processus de 25 cm/min. Utilisant son unité de mouvement à 4 axes et permettant des déplacements simultanés selon les axes X, Y et Z, ainsi qu'un axe de rotation auxiliaire, LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est capable de contrôler avec précision les processus. En utilisant un mécanisme breveté, sans contact, automatique, NOVELLUS Vector Express peut effectuer des opérations de gravure et de cueillette sur de grandes plaquettes en une seule installation. La technologie de base de LAM RESEARCH Vector Express est sa source de plasma DC, qui est capable de taux de gravure élevés et d'uniformité supérieure. Les sources de plasma DC offrent un faible coût de possession, car elles utilisent moins de gaz, nécessitent un minimum de pièces consommables et un entretien extrêmement faible. La source de plasma DC supporte également une variété de gaz pour permettre la gravure pour des applications spécifiques. En outre, Vector Express est en mesure de fournir des niveaux inégalés d'uniformité de profondeur de gravure, en utilisant sa source de plasma avancée, qui est capable de contrôler étroitement les profondeurs de gravure dans quelques millièmes de mil à travers la plaquette. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est également configuré avec des capacités avancées de contrôle de processus, conçu pour fournir un contrôle de processus précis en un seul clic. La machine offre des outils logiciels avancés tels que son Advanced Automated Etch Control (AAEC) et Low Total Pressure Etch (LTPe), permettant aux utilisateurs d'obtenir des rendements de processus élevés avec un temps de configuration minimal. En outre, NOVELLUS Vector Express dispose d'une conception de plénum d'échappement extra-longue pour fournir un échappement fiable et efficace des gaz de gravure et de cendres chimiquement réactifs de la chambre de procédé. En conclusion, LAM RESEARCH Vector Express est un graveur/asher avancé conçu pour offrir une productivité et des performances de processus maximales. Grâce à ses technologies brevetées et à ses capacités sophistiquées de contrôle des processus, Vector Express est en mesure d'obtenir une gravure et une cendre de haute qualité avec un débit maximal.
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