Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9372786 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express de NOVELLUS est une plate-forme avancée de graveur/asher conçue pour des applications de précision nécessitant une micro-structuration et une manipulation précises des substrats. Il dispose d'une chambre à vide standard qui est isolée pour réduire l'infiltration de particules, d'un équipement intégré de livraison de gaz et de produits chimiques, ainsi que de capacités avancées de balayage et de faisceau ionique Focus (FIB). NOVELLUS Vector Express dispose également d'un logiciel de surface à pas de substrat unique qui crée automatiquement une série de canaux peu profonds pour graver les voies étroites sans exposition à la lumière UV. LAM RESEARCH Vector Express comprend également une variété de fonctions avancées d'outillage et de surveillance telles que des systèmes de rétroaction de position laser/faisceau, des mécanismes de positionnement avancés, un système automatisé d'alignement de plaquettes de substrat (SWAS), et une unité de refroidissement d'air d'environnement contrôlé. Sa machine à gaz intégrée permet aux utilisateurs d'ajuster facilement des paramètres tels que la composition chimique, la pression et la température pour des conditions de gravure optimales. Vector Express offre un niveau de précision et de précision inégalé grâce à son optique de faisceau d'ions, qui permet la gravure de motifs complexes. De plus, son outil avancé de contrôle des processus calibre automatiquement et maintient des paramètres de gravure optimaux. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express dispose également d'une interface utilisateur intuitive qui permet aux utilisateurs d'accéder facilement à une variété d'outils et de fonctions, tels que la sélection de substrat, l'alignement automatique et manuel, et le choix de paramètres. Les performances de NOVELLUS Vector Express sont encore améliorées grâce à son actif de flux de gaz multiplan, à son processus de décollement rapide des anneaux de garde diélectriques et à la technologie améliorée de gravure par voie humide. Le modèle comprend également un tableau programmable de têtes de buse qui permettent aux utilisateurs d'accéder à plusieurs techniques de gravure en même temps. Enfin, LAM RESEARCH Vector Express comprend également un certain nombre de capacités d'analyse et de surveillance des données après gravure, ce qui permet d'améliorer le contrôle des processus et de réduire le temps d'inspection.