Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9378305 à vendre en France
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ID: 9378305
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
CVD System, 12"
2005 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher à usage général, idéal pour la production en volume moyen ou élevé de diverses structures de dispositifs semi-conducteurs. NOVELLUS Vector Express est doté d'un équipement de dépôt de film robuste et d'un procédé de fixation laser unique, offrant une couverture d'étape exceptionnelle et une fidélité de ligne précise. Le système est compatible avec toutes les principales chimies de résistance, permettant à la fois la gravure de plasma et les options avancées d'élimination des photorésistances. LAM RESEARCH Vector Express dispose également d'un nouveau contrôleur de processus qui fournit à l'utilisateur un ensemble complet de fonctions de suivi et de contrôle de processus. Vector Express est conçu pour une production à haut rendement, avec un accent étroit sur les condensateurs, transistors et autres structures de dispositifs avancés. L'unité comprend une plate-forme de manutention de 200mm, permettant le chargement, le transport et le déchargement efficaces des plaquettes, et une gamme complète de recettes de processus. Le générateur de recettes permet à l'utilisateur de développer rapidement des recettes personnalisées, et fournit une plate-forme puissante pour l'optimisation des processus. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express a été conçu pour maximiser les rendements de débit et de traitement, tout en minimisant les temps de cycle. Il dispose d'une chambre haute précision et à haut débit pour les applications spéciales de gravure et pour les processus de gravure en vrac. La machine est conçue pour des performances supérieures dans les configurations de lots et de grappes. L'outil utilise un procédé de gravure laser unique, qui élimine les techniques classiques d'élimination des photorésistances et fournit des motifs de gravure précis avec une variation minimale de la longueur de ligne. NOVELLUS Vector Express intègre également deux types différents de cartouches à traces, offrant un espacement optimal des traces, la précision de la ligne et la fidélité à la barre. LAM RESEARCH Vector Express est alimenté par une large gamme d'outils matériels et logiciels pour un contrôle et une automatisation maximum. Il comprend un puissant générateur de recettes, un module intégré de contrôle des paramètres du processus et un ensemble avancé d'enregistrement et d'analyse des données, qui permettent à l'utilisateur de gérer et d'optimiser le processus de gravure. Vector Express est certifié pour une utilisation dans une variété d'environnements de salle blanche, y compris ISO 14644-1 Classe 5 et Classe 7. Sa conception complète et ses tests rigoureux garantissent des performances élevées, une production stable et une fiabilité améliorée, ce qui le rend idéal pour les applications commerciales et de qualité de recherche.
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