Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9390434 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un équipement multi-chambres, de pointe, de graveur de lots/asher utilisé dans le traitement des semi-conducteurs. Un processus par lots entièrement automatisé capable d'exécuter un nombre quelconque de cycles de machine média simultanément, permettant un débit et une précision élevés. Le système comprend trois chambres indépendantes avec des opérations commandées par ordinateur, des commandes de pression de chambre personnalisées, et un générateur RF haute puissance, à fréquence variable pour la puissance de réglage fin. NOVELLUS Vector Express permet la gravure coopérative, qui est un procédé innovant où une chambre de gravure fournit alternativement les plaquettes avec de l'azote inerte (pour la gravure) ou de l'oxygène actif (pour le nettoyage). L'unité comprend une variété d'outils de gravure et de nettoyage, y compris la technologie de gravure ionique réactive (RIE), le nettoyage in situ à l'aide d'une source de plasma d'oxygène embarqué et les procédés programmables de gravure sèche. Ceci permet d'enlever des couches parasites de matériau et de déposer les conducteurs désirés de manière extrêmement précise. Le contrôle de mouvement de haute précision de LAM RESEARCH Vector Express permet d'assurer une répétabilité précise du processus. Cela est soutenu par les capacités avancées de traitement des données de la machine qui fournissent l'analyse en temps réel et la rétroaction du processus, permettant aux opérateurs d'optimiser et de contrôler le processus de gravure ou d'ashing. L'outil peut également être utilisé pour la cueillette d'équipements tels que des élévateurs à plaquettes et d'autres équipements semi-conducteurs nécessitant un nettoyage fréquent. L'ashing permet un processus beaucoup plus contrôlé que le nettoyage manuel avec des solvants, car il élimine les résidus indésirables avec précision et sans risquer d'endommager les composants. Pour assurer une sécurité optimale aux utilisateurs, Vector Express est équipé d'un module de surveillance supplémentaire pour vérifier les fuites de gaz dangereux ou d'autres conditions dangereuses. Enfin, en tant que graveur le plus respectueux de l'environnement de sa catégorie, l'actif dispose d'un modèle d'échappement intégré pour s'assurer que tous les gaz nocifs sont gérés et filtrés en toute sécurité.