Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9412146 à vendre en France

LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express
ID: 9412146
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2017
CVD System, 12" LDR TEOS Primary process USG/SiN Secondary process Direct liquid delivery system (ADV TEOS) ASTRON EX RPC Generator SIRF RF Configuration APEX 5513 HF Generator PDX 2500 LF Generator SERVO spindle, with water cooling Pedestal Options: Conditioned low profile Standard shower head Gas box configuration: STD, 13-channels GB Vortex ATM Robot (2) FOUP TDK Load port type TAKEX Standard light curtain option KASHIYAMA NV60 Load lock pump 2017 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un graveur/asher de haute performance qui utilise des procédés de gravure et de gravure avancés pour permettre un traitement de gravure de haute précision. Cet équipement polyvalent combine la dernière technologie avec le procédé de gravure NOVELLUS Vector Express de LAM, très réputé. LAM RESEARCH Vector Express est conçu pour améliorer l'uniformité, la précision et le débit de traitement et permettre une fabrication de haute précision même des topographies et géométries les plus complexes. Vector Express intègre de nombreuses fonctionnalités et éléments de conception pour offrir des performances de gravure maximales et une expérience utilisateur améliorée, avec des fonctionnalités de pointe telles qu'un étalonnage automatisé du système, un logiciel avancé de dépôt de film et de contrôle de gravure, et une interface utilisateur proéminente. Ces caractéristiques permettent à l'unité d'assurer une cohérence et une uniformité de gravure supérieures, et de réduire au minimum le temps nécessaire à la maintenance des outils et à l'optimisation des processus. La machine permet également la génération et l'installation automatisées de recettes, ainsi qu'un ensemble complet d'outils intégrés de suivi des processus. L'utilisation de capteurs avancés et de systèmes de diagnostic de processus pour détecter et répondre aux paramètres de processus permet à LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express de s'ajuster aux paramètres d'usinage optimaux pour chaque application. Cela garantit une gravure de haute précision à travers un large éventail de matériaux, éliminant la nécessité d'un montage et d'un étalonnage manuels coûteux. NOVELLUS Vector Express fournit un outil intégré de manutention des plaquettes qui est à la fois fiable et facile à utiliser. L'outil de manutention de la plaquette est conçu pour minimiser la contamination indésirable en fournissant une chambre étanche et propre, avec un débit d'échappement décontracté, et des conceptions optimisées de substrat et de piédestal. La manipulation des plaquettes est également rendue simple et efficace grâce au modèle intuitif SmartCart™ de LAM, qui permet le positionnement de la plaquette au bon emplacement sur le substrat. L'équipement est alimenté par une plate-forme logicielle robuste qui permet aux utilisateurs de créer, sauvegarder et charger facilement leurs recettes, ainsi que de fournir un support pour les profils de gravure standard et propriétaire. La personnalisation du processus de gravure est rendue facile et intuitive grâce à l'utilisation du logiciel intégré Process Expert™ de LAM, qui permet d'optimiser la gravure à la volée. Son interface utilisateur intuitive permet également aux utilisateurs de développer rapidement des recettes et de les sauvegarder rapidement pour une utilisation ultérieure. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Vector Express est un système de gravure/asher puissant, fiable et convivial qui offre des performances et une efficacité de gravure de pointe dans l'industrie. Il est l'outil parfait pour la gravure de haute précision et est capable de répondre aux exigences les plus exigeantes dans l'industrie.
Il n'y a pas encore de critiques