Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293625417 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme est un graveur et asher qui combine le traitement du plasma, la conception avancée des chambres et la technologie du gabarit blindé électrostatique pour offrir flexibilité, performance et productivité. Avec un excellent contrôle du processus et la configurabilité, NOVELLUS Vector Extreme est idéal pour les processus de fabrication de semi-conducteurs avant et arrière. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME présente un rapport d'aspect élevé de 600 mm et une chambre 6 zones équilibrée avec une faible puissance d'électrode, ce qui améliore l'uniformité diélectrique et le contrôle du profil de gravure. Il utilise également une source unique de plasma à haute fréquence à couplage inductif (PIC) pour obtenir une excellente uniformité de vitesse de gravure, un bon rapport coût-efficacité et une pulvérisation atmosphérique minimale. LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME utilise également une source unique de résonance cyclotron électronique (ECR) pour une uniformité et une vitesse de gravure maximales. La source ECR aide à minimiser les bouchons d'arc dans les dispositifs tactiles et les circuits intégrés, et aide à réduire les sous-produits et à améliorer les propriétés des matériaux. Vector Extreme dispose également d'un double gabarit blindé électrostatique en carbure de silicium avec rotation bidirectionnelle du gabarit, ce qui minimise la contamination. LAM RESEARCH Vector Extreme a également une pression réglable et un contrôle de la fluence variable, et avec le bon réglage du processus, peut fournir un débit de classe mondiale et d'excellents rendements. Il est idéal pour le dépôt, la gravure et la cueillette d'une grande variété de matériaux, y compris le silicium, le cuivre, le germanium, les silicures, le tungstène et le nitrure. Grâce à un logiciel de contrôle avancé, VECTOR EXTREME peut être facilement réglé et surveillé afin d'assurer une stabilité optimale du processus, des consignes de contrôle et un profilage, minimisant les temps d'arrêt et améliorant les rendements. NOVELLUS VECTOR EXTREME est une solution de gravure et d'ashing idéale pour les applications à haut volume grâce à son débit amélioré et à ses excellentes capacités de contrôle des processus.