Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293754606 à vendre en France

ID: 293754606
Taille de la plaquette: 12"
System, 12" Heater P/N: 031-1001170.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est un graveur et asher polyvalent conçu pour assurer un traitement rapide et précis des substrats par la production. C'est un équipement à grande vitesse qui excelle dans le débit et l'efficacité de fonctionnement tout en offrant une capacité d'imagerie fine ligne. NOVELLUS Vector Express est équipé d'un mandrin électrostatique multi-breveté haute densité RF, qui permet un contrôle précis de la pression et de la température de la chambre pour améliorer les rendements des procédés. Ce système dispose également d'une option flexible et à pression variable qui permet d'optimiser la répétabilité des processus pour les applications les plus exigeantes. LAM RESEARCH Vector Express est configuré avec une unité de détection d'arc pour éviter la surcharge et permettre une utilisation efficace du matériel. Son contrôle automatisé des processus et sa rétroaction en temps réel offrent une grande uniformité de fidélité et une résolution fine supérieure. Les générateurs RF haute puissance de Vector Express sont facilement réglables pour optimiser la gravure des substrats sans sacrifier les performances. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est suffisamment polyvalent pour gérer une grande variété d'applications, y compris le cendrage, la gravure et la gravure ionique réactive (RIE). La machine est spécialement conçue pour le dépôt de films diélectriques, de silicium polycristallin et de nitrure de grande surface. Il offre une excellente couverture d'étape pour les films non brevetés, et est bien adapté à la fabrication de composants de dispositifs avancés. NOVELLUS Vector Express est équipé d'une surveillance avancée des processus qui fournit des diagnostics en temps réel en chambre pour garantir des performances de gravure optimales. L'interface utilisateur de l'outil offre un contrôle tactile intuitif pour le démarrage rapide de la production. Pour maximiser la sécurité et le fonctionnement, LAM RESEARCH Vector Express est construit avec des mécanismes spéciaux d'absorption des vibrations. L'actif a un profil bas qui permet un accès facile pour la maintenance et réduit l'empreinte pour une utilisation efficace de l'espace de production précieux. En conclusion, Vector Express de NOVELLUS est un graveur et asher exceptionnel qui est spécialement conçu pour fournir le profil de gravure optimal pour une variété de matériaux de substrat avancés. Son générateur RF est facilement réglable pour maintenir une gravure de haute précision, tandis que les systèmes avancés de surveillance des processus fournissent une rétroaction et un diagnostic en temps réel supérieurs. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express est conçu ergonomiquement avec un profil bas pour un fonctionnement sûr et facile, et son contrôle automatisé assure un débit de production efficace.
Il n'y a pas encore de critiques