Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293767046 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme est un graveur/asher spécialement conçu pour les applications avancées de dépôt en phase vapeur électrochimique et physique. Parfaite combinaison de performance et de qualité, NOVELLUS Vector Extreme offre un débit élevé et une interface utilisateur intuitive, permettant aux utilisateurs de configurer et d'ajuster facilement les paramètres de la recette. Son équipement de mouvement de précision et son système numérique offrent une précision et une répétabilité supérieures du processus de gravure, permettant une imagerie haute densité sur les substrats de plaquettes les plus complexes. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME offre une vitesse d'imagerie supérieure, offrant une faible défectivité, une morphologie supérieure et des temps d'exécution rapides. L'unité a un débit maximum de 4.200 wafers par heure et fournit un contrôle précis des processus, permettant aux utilisateurs de mettre en œuvre des recettes de processus avec précision et répétabilité. Il est doté d'une chambre de procédés capable d'accueillir plusieurs configurations de procédés, y compris la gravure multi-sources, le broyage ionique à double cible et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Pour relever les défis des applications de gravure haut de gamme, NOVELLUS VECTOR EXTREME a été conçu avec des injecteurs de sources multiples à grande vitesse et alternant des sources de plasma à double magnétron. Dotée d'une technologie de base brevetée, la machine VECTOR EXTREME offre les meilleures performances de classe etcher/asher. La technologie de contrôle évoluée, interactive et en temps réel de l'outil offre des temps de réaction rapides et la capacité d'ajuster des paramètres critiques tels que la fréquence et le cycle d'utilisation à la volée. Son atout de mouvement en boucle ouverte permet de positionner les composants cinématiques à ± 0,25 µm, et son modèle de vision intégrée assure un haut degré de précision lors du positionnement des cibles dans la chambre. Le VCA (logiciel de contrôle et d'analyse basés sur la vision) permet aux utilisateurs de gérer facilement les paramètres du processus, et le logiciel d'automatisation avancé de l'équipement permet aux utilisateurs de construire et de mettre en œuvre des recettes complexes rapidement et efficacement. LAM RESEARCH Vector Extreme système dispose également de capacités de surveillance et de diagnostic avancées, assurant la disponibilité et la qualité des processus. Avec des capacités intégrées de surveillance des processus, l'unité peut fournir une rétroaction immédiate sur les performances de la chambre, tandis que l'interface utilisateur intuitive offre une configuration facile à utiliser et la gestion des recettes. En outre, LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME machine est conforme à toutes les réglementations de sécurité des semi-conducteurs, fournissant un environnement de travail sûr pour les opérateurs. En conclusion, Vector Extreme etcher/asher offre des performances et une qualité supérieures dans un emballage très fiable et facile à utiliser. Sa technologie de contrôle en temps réel avancée, ses temps de réaction rapides et son outil de mouvement précis permettent aux utilisateurs de fabriquer des structures complexes avec rapidité et précision, ce qui en fait une solution idéale pour les applications de gravure avancées.