Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293767058 à vendre en France
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ID: 293767058
Style Vintage: 2012
System
Chamber position / Gases
Unit 1 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
Unit 2 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
2012 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme est un graveur et asher entièrement automatisé qui offre une productivité accrue et un coût de possession minimisé. Cet équipement de pointe utilise des technologies innovantes telles que la gravure multi-passe avancée, le placement en quinconce des plaquettes et le chargement, le déchargement et le conditionnement des plaquettes assistées par épurateur. La source de plasma double de NOVELLUS Vector Extreme, à haute fréquence en courant alternatif et en courant continu (DC), permet un large éventail de processus de gravure et d'ashing. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME offre également aux utilisateurs la possibilité d'ajuster la source DC pour la majorité des processus de gravure et de cendres pour un meilleur contrôle des processus et des résultats reproductibles. Le système dispose d'une chambre de processus de grande capacité et d'une cassette ashing qui réduit les opérations de refroidissement et de dégagement des pulvérisateurs de temps, tout en éliminant la nécessité de changements fréquents de cassette ashing. Cela permet aux utilisateurs d'augmenter le débit de processus et de maximiser l'efficacité temporelle. NOVELLUS VECTOR EXTREME comprend également une unité d'épurateur/cassette de 11 plaquettes entièrement intégrée pour une préparation supérieure avant traitement. Cette fonctionnalité permet aux utilisateurs de conditionner les plaquettes avant l'entrée dans la chambre et d'améliorer la précision d'orientation des plaquettes, ce qui donne des résultats de processus plus fiables. LAM RESEARCH Vector Extreme est conçu avec une machine de régulation de température avancée qui assure une température physique constante dans la chambre à outils pendant les opérations de gravure et de cendres. Cet outil utilise de puissants algorithmes de contrôle proportionnel-intégral-dérivé (PID) pour une gestion très précise de la température tout au long du processus. Le contrôle de température idéal permet également d'améliorer les profils de gravure et de cendres afin de maximiser les performances. Enfin, LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME possède un grand nombre de caractéristiques de sécurité avancées pour protéger à la fois l'actif et l'opérateur. Cela comprend des boutons d'arrêt d'urgence, un modèle d'entretoise intégré et un équipement automatisé d'ouverture de porte. Cela garantit que le système fonctionne toujours dans le respect des directives de sécurité et que les opérations peuvent être arrêtées rapidement et efficacement en cas d'erreur. En bref, Vector Extreme est un graveur et asher avancé qui offre des résultats de processus rapides et reproductibles et des économies de coûts supérieures en termes d'exploitation et de maintenance des unités. Les caractéristiques et les technologies de la machine fournissent des performances fiables dans une large gamme d'opérations de gravure et de cendres.
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