Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293767216 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme est un outil de gravure/cendres utilisé pour créer des formes précises et dimensionnelles dans une variété de substrats tels que le silicium, les photorésistes, les métaux et les oxydes. Il possède une précision de pointe et un contrôle précis des paramètres de processus de gravure tels que le temps, la température et le débit de gaz. L'équipement est conçu pour permettre le traitement efficace de grands substrats, jusqu'à 450 mm de taille, et son architecture flexible permet un développement et une exécution des recettes plus rapides. Le système se compose d'un certain nombre de composants clés dont une chambre principale, une source de gravure et un certain nombre de composants annexes. La chambre principale est une chambre haute précision et basse pression spécialement conçue pour optimiser le processus de gravure. Il se compose d'un revêtement intérieur chauffé et de puissants chauffages en diamant polycristallin qui assurent un chauffage uniforme sur l'ensemble du substrat. En outre, la chambre dispose d'une interface pour de multiples espèces de gravure (gaz, liquides, etc.) et des systèmes robustes de contrôle du vide et de la pression. La source de gravure est la pièce maîtresse de l'unité. Il contient un certain nombre de sources radiofréquences (RF) puissantes et de haute précision qui génèrent des champs de plasma très localisés pour graver précisément le substrat. Les sources RF sont reliées à des systèmes d'accord automatisés qui assurent la cohérence des paramètres du processus de gravure. Les composants d'accompagnement de la machine comprennent divers orifices d'introduction de gaz, des éléments chauffants et une variété de capteurs et d'actionneurs qui contrôlent la pression, la température et le débit du substrat. Un ensemble robuste de systèmes de sécurité est également présent pour assurer la longévité de l'outil et la sécurité de ses opérateurs. NOVELLUS Vector Extreme est un puissant outil de gravure/cendres utilisé dans une variété de substrats. Son contrôle de précision des paramètres de processus, la haute précision de la chambre principale, les sources RF et les composants associés en font un leader dans l'industrie de la gravure. Il permet un développement plus rapide de la recette avec une architecture flexible et est capable de produire des formes précises sur de grands substrats, jusqu'à 450 mm de taille. Avec ses systèmes de sécurité robustes, son rendement élevé et sa construction robuste, LAM RESEARCH VECTOR EXTREME est un choix idéal pour les gravures/cendres.