Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9099744 à vendre en France
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Vendu
ID: 9099744
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2013
CVD System, 12"
Parts machine
Single chamber
Process: PECVD Ox
(3) Load ports
AC Rack
2013 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme est un graveur/asher avancé qui utilise la technologie de gravure ionique réactive (RIE) à base de plasma pour traiter des plaquettes avec des applications de gravure et de polarisation corporelle très précises. L'équipement fournit un contrôle de gravure linéaire avec une grande précision et uniformité, et est capable de manipuler une variété de tailles de plaquettes, de températures et d'environnements. NOVELLUS Vector Extreme est conçu pour une utilisation en salle blanche et se compose de deux sous-systèmes distincts qui fonctionnent indépendamment l'un de l'autre pour assurer le plus haut niveau de précision et de précision de gravure. Le premier sous-système est le Plasma Source System, qui génère le plasma ionique réactif (RIE) pour graver les plaquettes avec une précision quasi parfaite. Le deuxième sous-système est l'unité de livraison de gaz, qui fournit des mélanges précis de gaz de gravure et de nettoyage pour un traitement optimal des gravures. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME intègre également un haut degré d'automatisation, permettant à l'utilisateur de personnaliser les paramètres du profil de gravure pour répondre à des exigences spécifiques. En outre, la machine est conçue pour minimiser la contamination des particules pour une fiabilité maximale et un contrôle des processus. NOVELLUS VECTOR EXTREME est capable d'atteindre une répétabilité de processus supérieure à 1 % et une longueur de ligne minimale de 30 nm, idéale pour les applications de lithographie à l'échelle. Avec sa conception robuste et ses capacités exceptionnelles, VECTOR EXTREME est un excellent choix pour une variété de tâches de gravure et de polarisation corporelle dans une variété d'environnements de salle blanche.
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