Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9270881 à vendre en France

LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme
ID: 9270881
CVD System.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme est un graveur et asher conçu spécifiquement pour le traitement moderne des semi-conducteurs. Il est le principal outil de gravure de plasma multi-stations pour les semi-conducteurs avancés. La conception de NOVELLUS Vector Extreme est optimisée pour la précision et le haut débit. Il dispose d'une architecture flexible et configurable qui peut être utilisé pour les applications de gravure verticale et horizontale et de cendres. Cette flexibilité permet de personnaliser l'équipement pour répondre aux spécifications cibles pour une application spécifique. Son système optique haute résolution fournit un contrôle précis du plasma, permettant des processus de gravure et de cendres précis. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME est équipé d'un générateur à induction RF haute performance qui offre un traitement plasma stable et répétable. Sa fonction de vectorisation avancée permet un alignement rapide et précis du générateur RF sur l'étage de la plaquette, ce qui améliore les rendements de traitement. L'unité de vectorisation assure également la mise en place cohérente de particules et d'autres contaminants dans le plasma, contribuant ainsi à prévenir les gravures non uniformes et les résultats de cendres. VECTOR EXTREME est également équipé d'une console de mélange de gaz qui permet un réglage précis des paramètres de fonctionnement pour toute gravure particulière et recette de cendres. Cette machine permet d'assurer des résultats reproductibles et fiables. En outre, la station de mélange de gaz peut être utilisée pour contrôler la pureté des gaz utilisés dans le générateur de plasma et diagnostiquer les problèmes qui peuvent survenir lors du traitement. LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME offre également un entretien rapide et facile avec son outil auto-nettoyant automatisé. Cet actif est conçu pour réduire les temps d'arrêt et améliorer la fiabilité et la performance du modèle. Enfin, LAM RESEARCH Vector Extreme est compatible avec une variété de capteurs et de contrôleurs avancés, permettant aux utilisateurs de personnaliser l'équipement en fonction de leurs exigences de processus spécifiques. En conclusion, NOVELLUS VECTOR EXTREME est un graveur et asher avancé conçu pour permettre des procédés de fabrication de semi-conducteurs de haute précision et à haut débit. Ses caractéristiques avancées, telles que le vectoring, la maintenance rapide et le mélange de gaz assurent des résultats reproductibles et fiables. Son système optique haute résolution permet un contrôle précis du plasma pour des processus de gravure et de cendres précis. Enfin, sa compatibilité avec une variété de contrôleurs et de capteurs aide les utilisateurs à personnaliser l'unité pour répondre à leurs exigences de processus.
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