Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9294398 à vendre en France
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ID: 9294398
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
CVD System, 12"
Process: SiN / SiO
2010 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme est une machine de gravure métallique conçue pour des opérations de gravure et de recuit précises. Il est idéal pour créer des composants avec des exigences de micro-détails pour l'emballage de semi-conducteurs avancés et la fabrication de composants. NOVELLUS Vector Extreme est un équipement entièrement automatisé qui utilise quatre étapes indépendantes de balayage de plaquettes dans un seul système, lui permettant de traiter jusqu'à quatre plaquettes à la fois. Il est capable de graver des métaux tels que l'aluminium, le cuivre, le tungstène et le titane avec une répétabilité, une précision et une fiabilité inégalées. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME utilise un puissant bras robotique 8 axes capable de recuit et de gravure des couches avec des tolérances aussi faibles qu'un centième de micron et de se déplacer jusqu'à 3nm de vitesse latérale. Cela lui permet de fabriquer rapidement et avec précision la couche désirée avec un minimum de dommages aux couches sous-jacentes. Sa répétabilité et son contrôle précis du métal vaporisé en font une option fiable pour les applications de microemballage. LAM RESEARCH Vector Extreme est équipé d'une interface utilisateur riche en fonctionnalités qui fournit des informations complètes pour la configuration, le fonctionnement et la surveillance de la machine. Cette interface conviviale permet aux utilisateurs de surveiller toutes les étapes des processus de gravure et de recuit, y compris l'étape de refroidissement, afin d'assurer des résultats de production cohérents et fiables. LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME utilise une unité unique de contrôle des effluents métalliques vaporisés conçue pour assurer un environnement opérationnel propre et conforme. L'effluent métallique vaporisé est filtré au moyen de multiples systèmes de filtration qui éliminent tous les contaminants particulaires et gazeux de l'air, ce qui réduit les risques pour la santé et l'environnement associés au processus de gravure et de recuit. VECTOR EXTREME est construit sur la plate-forme DRAM600 CE qui fournit un fonctionnement fiable et évolutif pour une grande variété d'applications. Cette plate-forme offre une redondance pour assurer un fonctionnement fiable dans les environnements les plus difficiles et hostiles. Il est conforme au RoHS et peut être intégré à d'autres systèmes de production de composants pour créer une machine complète qui peut fournir une fabrication rapide et fiable pour une variété d'applications semi-conductrices et industrielles. Vector Extreme est un outil de gravure et de recuit haute performance qui fournit aux clients une précision et une répétabilité incroyables dans un ensemble fiable et rentable. Sa flexibilité, sa précision et son emballage complet en font la solution parfaite pour toute opération de gravure et de recuit.
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