Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9301496 à vendre en France
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ID: 9301496
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
PECVD System, 12"
Silane
2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme est un graveur/asher conçu avec des algorithmes propriétaires de contrôle de processus, offrant des performances de gravure/cendres optimales pour les dispositifs de mémoire avancés. Cet équipement est compatible avec les dernières générations de photomasques et peut manipuler des matériaux tels que le silicium, les diélectriques low-k et les matériaux III-V. NOVELLUS Vector Extreme propose une nouvelle application d'analyse pour identifier et caractériser les processus de gravure/cendres. Cela inclut une fenêtre d'analyseur brevetée qui permet aux utilisateurs de déterminer précisément les paramètres de gravure/cendres optimaux. Il comprend également un système de contrôle des gaz actifs avancé qui surveille la performance du plasma et ajuste les débits de gaz pour optimiser le processus de gravure/cendres. LAM RESEARCH VECTOR EXTREME travaille par gravure assistée par plasma, qui utilise un mélange de gaz chimiquement réactif pour graver des couches de matériau. Sa source de plasma de pointe produit un plasma de grande puissance pour assurer un processus de gravure/cendres lisse et cohérent. Son temps de cycle rapide permet une production à haut volume en moins de temps, tandis que sa technologie de recharge à bas k assure la meilleure performance possible de gravure/cendres avec un minimum de dommages dus à l'expansion thermique et au rétrécissement. LAM RESEARCH Vector Extreme dispose également d'une nouvelle technologie d'unité de performance prédictive qui permet aux utilisateurs d'entrer un modèle désiré et de prédire avec précision les résultats de gravure et d'ashing avant le traitement. Cette machine apprend des étapes de gravure/cendres passées à peaufiner les processus pour une meilleure performance. LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME a été conçu pour une vitesse de traitement et une précision maximales. Il dispose d'une grande chambre de traitement, permettant la gravure simultanée et la cueillette de multiples lots de plaquettes. Il peut également être connecté à d'autres outils pour améliorer le débit et l'utilisation de l'outil. Vector Extreme est entièrement automatisé et dispose de systèmes intégrés de sécurité et de sûreté. Il prend en charge la surveillance à distance, l'alerte et le diagnostic à distance. Il est également capable de se mettre à jour automatiquement avec des correctifs logiciels, assurant la plus haute performance possible tout au long de sa vie.
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