Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9227340 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector est un outil avancé de graveur/asher utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'une chambre de processus environnementale qui permet la gravure plasma de haute précision de substrats tels que le quartz, le silicium et certains métaux. NOVELLUS Vector dispose de deux sources de plasma : une source standard, qui est un générateur RF 13,56 MHz, et une source optionnelle commutable, qui est une source d'énergie RF basse fréquence. Ces deux sources de plasma permettent de graver un large éventail de matériaux avec différentes chimies de gravure. Il dispose également d'une chambre de recuit thermique rapide (RTA) de haute puissance, qui permet un traitement thermique plus rapide des substrats. LAM RESEARCH Vector possède plusieurs caractéristiques qui en font un outil de gravure polyvalent. Sa conception verticale fournit un environnement de gravure uniforme, tandis que son étage d'auto-ajustement est utilisé pour aligner et ajuster pour différentes morphologies de substrat. Il est également équipé de vannes automatisées pour maximiser différentes chimies de traitement, ainsi que de contrôleurs de mouvement de précision pour aligner la plaquette sur la profondeur de gravure cible. En outre, Vector est équipé d'un algorithme de numérisation sophistiqué pour contrôler avec précision le temps et la profondeur du processus. Son chargement et son déchargement automatisés des plaquettes le rendent également facile à utiliser. Les capacités de gravure avancées de LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector en font un outil idéal pour une variété de projets. Il offre une qualité de gravure optimale avec sa combinaison de précision et de contrôle. Sa source de plasma autorégulatrice permet également aux opérateurs d'ajuster facilement la densité de gravure et les recettes, en fournissant des résultats de traitement efficaces et efficients. De plus, ses capacités de traitement thermique rapide permettent un cycle de traitement compact et veillent à ce que les substrats soient rapidement prêts pour le processus suivant. Dans l'ensemble, NOVELLUS Vector etcher/asher est un système de gravure convivial et très avancé. C'est un excellent choix pour les projets de fabrication de semi-conducteurs grâce à ses capacités de gravure plasma de haute précision combinées à un recuit thermique rapide et à une manipulation automatisée des plaquettes. Ses caractéristiques polyvalentes font de LAM RESEARCH Vector un outil de gravure incroyablement fiable et efficace.