Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235073 à vendre en France

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector est un asher/etcher pour les applications semi-conductrices. C'est un outil puissant qui offre des technologies avancées de gravure de plasma et une architecture modulaire qui offre à la fois la flexibilité et l'évolutivité. NOVELLUS Vector utilise une source multi-magnétron à haut rendement pour obtenir une uniformité optimale du profil du plasma. Son architecture à trois chambres permet des changements rapides côté processus (HDP-PR). LAM RESEARCH L'équipement de manutention à haute vitesse du mandrin électrostatique (ESC) de Vector permet d'améliorer l'uniformité et le débit de gravure. Le système ESC intègre également un mécanisme d'inclinaison qui permet d'améliorer le parallélisme des plaquettes lors de la gravure sur de grandes surfaces. Vector dispose également d'une unité de détection complète d'Endpoint (EPD) qui surveille la variabilité de la vitesse de gravure et de la précision d'endpoint. Pour s'améliorer gravent à l'eau forte de 3 CHF le taux et la sélectivité, la RECHERCHE DE LAM / le Vecteur de NOVELLUS emploie une machine de production du gaz avancée qui inclut un collecteur d'introduction du gaz et le battement rapide tapent des obturateurs du gaz. La programmation automatisée des panneaux de gaz de NOVELLUS Vector garantit une application rapide des processus de gravure optimaux. RECHERCHE LAM L'outil de vision CCD de Vector, à partir des surfaces supérieure et inférieure de la plaquette, possède une précision et une résolution d'identification élevées. Cet actif CCD à double vue fournit une position et une zone de gravure précises pour les gravures frontales et rétrospectives. Vector comprend également une capacité robuste de surveillance du modèle qui permet une maintenance rapide et la collecte et l'analyse de données environnementales. De plus, LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector fournit un matériel et un logiciel de pointe pour les capacités diagnostiques, y compris un large éventail de diagnostics externes. Cela donne aux utilisateurs la capacité d'identifier et de résoudre rapidement tout problème de processus. NOVELLUS Vector a été déployé avec succès dans un large éventail de processus de lithographie, de gravure et de dépôt. En utilisant les fonctionnalités avancées de LAM RESEARCH Vector, les utilisateurs peuvent utiliser l'etcher pour des processus complexes et simples dans des lignes de production à haut volume. Vector offre aux clients une flexibilité ultime, un débit élevé et un meilleur contrôle des processus.