Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235239 à vendre en France

LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector
ID: 9235239
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
CVD Systems, 12" 2005 vintage.
Le vecteur LAM LAM RESEARCH/NOVELLUS est un outil de gravure ou d'ashing utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. NOVELLUS Vector est conçu non seulement pour réaliser des applications de gravure ou d'ashing, mais aussi pour optimiser un déroulement complet du processus. L'équipement intègre des capacités de gravure diélectrique précise et de dépôt d'oxyde pour un traitement de haute qualité des dispositifs. Avec un design modulaire et compact, LAM RESEARCH Vector permet des processus rapides et reproductibles pour de petites séries de production. Il est extrêmement fiable, avec des niveaux élevés de performance et de débit de fonderie. Le système offre une excellente uniformité et précision avec des fenêtres de processus très serrées, ce qui en fait l'outil idéal dans une gamme de recettes de processus, y compris la gravure diélectrique haute K, la gravure d'interconnexion locale ou les applications de remplissage d'intervalle de cuivre. En outre, les capacités de traitement robustes de Vector en font un outil optimal pour les matériaux volatils, comme la gravure diélectrique à haut K ou les oxydes déposés, dans la grappe de service. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector intègre NOVELLUS Vector control et une source unique de plasma de faisceau pour permettre un contrôle de vitesse de gravure supérieur, uniformité et précision. L'unité dispose également d'une automatisation améliorée des processus, permettant de réagir rapidement à l'évolution des plans de production. Il offre des caractéristiques de sécurité de processus robustes pour dissuader les saboteurs potentiels, et sa conception avancée de tunnel et de diapositives offre des performances de rendement et de débit améliorées. Avec son intégration élargie des outils de gestion des processus, LAM RESEARCH Vector offre une flexibilité et un contrôle maximaux sur les paramètres de traitement clés. Vector intègre également des fonctions avancées de contrôle des processus pour garantir une précision et une uniformité optimales des processus. Il comprend une gestion universelle des recettes et des capacités avancées de métrologie des processus. Les capacités de métrologie fournissent un large éventail de paramètres pour assurer l'exactitude et l'uniformité des processus. La machine offre une programmabilité rapide pour une optimisation rapide et répétable des processus et une productivité élevée. De plus, LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector dispose d'une gamme de dispositifs de sécurité pour protéger les opérateurs et les équipements critiques contre les dangers potentiels. L'outil utilise une combinaison de technologies de confinement et de sécurité au laser pour assurer un environnement sûr de traitement des plaquettes. Enfin, NOVELLUS Vector est conçu avec une expérience utilisateur intuitive à l'esprit, ce qui le rend facile à programmer et à utiliser.
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