Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9250686 à vendre en France
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ID: 9250686
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
CVD Systems, 12"
2005 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector est un graveur/asher conçu pour graver une variété de surfaces de matériaux. Cet etcher/asher est créé pour aider dans une variété d'applications industrielles, des pièces de dispositifs mobiles aux puces mémoire d'ordinateur. NOVELLUS Vector etcher/asher utilise la technologie des sources à double faisceau pour maximiser à la fois la profondeur blanche et gravée des matériaux. Cette technologie à double faisceau ne se limite pas aux matériaux de gravure, mais également au dépôt simultané de couches. LAM RESEARCH Vector est conçu pour les chambres de processus semi-atempératrices et tempérées, et dispose d'une gamme de suscepteurs de processus dans le codeur-développeur dans lequel les utilisateurs peuvent placer des substrats, tels que des puces à mémoire et des couches métalliques, pour la gravure précise et les processus de développement. Grâce à sa technologie de pointe, Vector chauffe les substrats à des températures allant d'environ 1200 ° C à 2400 ° C pour les processus de gravure ou de dépôt de couches. LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector utilise un seul robot de transfert dans sa chambre scellée, capable de transférer des milliers de substrats par heure avec une interaction humaine minimale. Sa source de faisceau aide à créer des ouvertures extrêmement petites avec une grande précision, et sa technologie de double faisceau aide à minimiser les déchets et à préserver les matériaux. NOVELLUS Vector est le mieux utilisé pour le traitement de plaquettes de 8 « à 12 » de diamètre, et est capable de traiter des tâches de processus complexes, telles que l'oxydation, la nitruration, la métallisation, le recuit, le nitrurage et la diffusion à basse température. Son processus automatisé et sa technologie de source laser sophistiquée garantissent une gravure précise et précise, avec une interaction humaine minimale. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Vector est un graveur/asher conçu pour la gravure de haute qualité et le dépôt de couche de précision pour une variété de matériaux. Sa technologie de source à double faisceau et son robot de transfert unique à l'intérieur d'une chambre étanche lui permettent de gérer des tâches complexes, et son minuscule ouverture de faisceau conduit à des gravures de haute précision. Vector est conçu pour des plaquettes d'un diamètre compris entre 8 « et 12 » et peut traiter les substrats avec précision et efficacité.
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