Occasion LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9378180 à vendre en France
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ID: 9378180
Taille de la plaquette: 12"
CVD System, 12"
Process: TEOS
(2) APF
RPSA.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour la fabrication de plaquettes à haut volume. Il est utilisé dans les usines de fabrication pour la production de puces de haute technologie ; NOVELLUS Vector travaille avec d'autres outils de gravure pour définir, façonner et nettoyer différentes couches d'une plaquette ou d'une puce. LAM RESEARCH Vector utilise des plasmas à base de fluor pour graver et nettoyer des couches minces de silicium, de cuivre et d'autres matériaux. Il est capable d'effectuer des gravures diverses, plus précises et détaillées par rapport à ses homologues. Il utilise des technologies de pointe, comme l'hélium-amplifié plasma asher (HEPA), et le couplage inductif haute densité (HDIC), permettant un contrôle rapide et précis de la température, du débit et des profils de vitesse de gravure. La conception unique des sources inductives RF de Vector permet également un contrôle précis de la densité des particules et de la distribution de l'énergie, ce qui peut améliorer les rendements de gravure et minimiser les dommages indésirables au substrat. En outre, le système est spécifiquement conçu avec la sécurité et l'efficacité à l'esprit. Il intègre une technologie d'automatisation avancée et des opérations d'assurance qualité, ce qui réduit considérablement le temps nécessaire aux opérations de gravure. La suite logicielle avancée de LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector assure la cohérence des processus et élimine le potentiel d'erreurs humaines. Cela améliore la métrologie de l'outil, permettant aux ingénieurs de processus de détecter rapidement les problèmes potentiels avant qu'ils ne deviennent des défaillances critiques de performance. Cela est également facilité par le débit élevé de l'unité, ce qui le rend idéal pour une production à haut volume. NOVELLUS Vector dispose également d'une machine sophistiquée de contrôle de la contamination intégrée, qui contrôle tous les aspects des matériaux nouveaux et utilisés. Ceci assure la propreté de la chambre de gravure et empêche le transfert de dépôts potentiels vers des plaquettes, ce qui pourrait entraîner une défaillance du procédé. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Vector est un outil de graveur/asher fiable et performant de NOVELLUS. Il est basé sur des technologies de pointe et offre un plus grand contrôle sur le processus de gravure. Ses caractéristiques de sécurité et de contrôle de la contamination en font un outil puissant pour les flux de production à haut volume.
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