Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #293595649 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex est un graveur/asher conçu pour offrir aux utilisateurs la plus grande flexibilité en ce qui concerne les processus de gravure et de gravure. Cet équipement est conçu pour traiter un large éventail d'applications, de la gravure à usage général à la microfabrication de haute précision. Sa combinaison de polyvalence et de fiabilité en font un excellent choix pour de nombreux besoins de gravure et d'ashing. ONTRAK 2300 Exelan Flex est composé d'un contrôleur intégré, d'un ensemble électrique, d'un carrousel de plaquettes, d'une tête de douche et d'ensembles de trottoirs. Le contrôleur robuste alimente le système grâce à des affichages graphiques conviviaux et des panneaux de contrôle intuitifs qui offrent un fonctionnement simple, des entrées de paramètres et des affichages d'état. L'ensemble électrique, qui comprend des relais et des contacteurs, assure une puissance et des niveaux de processus adéquats pendant le fonctionnement. Le carrousel de la plaquette tient solidement les plaquettes pour le déplacement dans et hors de la chambre de procédé, et est construit avec un intérieur poli en acier inoxydable pour une propreté et une durabilité optimales. La tête de douche et les parois latérales offrent un certain nombre de procédés personnalisables, tels que la gravure ionique réactive (RIE), la gravure plasma inductivement couplée (ICP), l'ashing et le stripping. La tête de douche est conçue pour assurer une gravure uniforme de l'ensemble de la plaquette, tandis que les ensembles de flanc permettent une gravure sélective et peuvent être utilisés pour réduire le temps de gravure en optimisant la position de la plaquette dans la chambre de procédé. L'unité obtient des résultats de gravure excellents et répétables grâce à sa création de recette avancée, qui permet le suivi et les ajustements de processus. La performance de la recette peut être évaluée et optimisée en analysant divers paramètres - y compris la position et la pression de la plaquette, la température et la pression de la chambre, le débit de gaz et le temps de traitement - sur n'importe quelle recette/lot. La machine dispose également de fonctions de sécurité complètes telles que surpression, surtension et systèmes de surveillance de la température. LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex est conçu et fabriqué selon les normes et spécifications de qualité les plus élevées, ce qui en fait une solution idéale pour de nombreux besoins liés à la gravure et au cendrage. Sa combinaison de fonctionnalités matérielles et logicielles complètes, sa fiabilité et sa flexibilité en font un excellent choix pour de nombreux types d'applications de gravure et d'ashing.