Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9032660 à vendre en France
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Vendu
ID: 9032660
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2007
Etcher, 8"
(3) Chambers, (4) Gas Boxes
PDU
Software version: 1.7.3-SP3-HF2a
2007 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex est conçu pour le traitement à haut débit des plaquettes nécessaires à la production de puces. Ce graveur/asher a été développé pour fournir une gravure/ashing supérieure pour une large gamme de substrats. Le dispositif dispose d'un procédé plasma breveté et hautement efficace contrôlé par la température qui permet une gamme plus large d'exigences de gravure et de cendrage que les méthodes de traitement classiques. Il est également livré avec une plate-forme hautement personnalisable et évolutive qui permet aux utilisateurs d'adapter l'équipement à leurs besoins spécifiques d'application. L'Exelan Flex est conçu pour une utilisation facile et fiable ; nécessitant une intervention minimale de l'opérateur sur une interface utilisateur intuitive. Avec un système de chargement à cassette ouverte et la capacité de programmer des outils pour les processus par lots, il peut traiter rapidement et avec précision une large gamme de plaquettes. Il est également capable de détecter et de corriger les erreurs en temps réel, réduisant ainsi les taux de rebuts. L'Exelan Flex comprend des fonctionnalités telles qu'un régulateur de débit massique intégré et un robot de transfert de plaquettes entièrement programmable, qui permettent un contrôle précis des gaz de procédé et du vide pneumatique. En outre, le dispositif est équipé d'un contrôleur de processus sophistiqué qui est capable de contrôler plusieurs paramètres de processus afin d'optimiser les performances de gravure et d'ashing. L'Exelan Flex dispose également d'une unité d'imagerie de haute précision qui fournit des vues simultanées de l'ensemble de la plaquette à tout moment. Cette puissante machine d'imagerie permet un contrôle précis du processus de gravure et de cueillette, ainsi que la capacité d'identifier des points chauds ou des motifs sur la plaquette, améliorant ainsi les rendements et réduisant les pertes lors des opérations de production. L'Exelan Flex offre une solution de gravure/cendrage respectueuse de l'environnement, puisqu'il fonctionne avec un minimum de produits chimiques et de solvants, et a réduit les émissions des ampoules des terminaux d'affichage vidéo (VDT). Avec des performances supérieures, une plate-forme flexible et une interface facile à utiliser, ONTRAK 2300 Exelan Flex etcher/asher est une excellente solution pour tout besoin de production de puces.
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