Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095926 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex est un équipement de gravure/gravure avancé pour la fabrication de plaquettes et le développement technologique. La combinaison de la technologie ONTRAK et LAM RESEARCH fait de ce système un outil puissant pour les processus de gravure, de cendrage et de nettoyage. L'unité Flex d'Exelan est conçue pour permettre des processus de gravure et de cueillette précis et reproductibles avec des temps de cycle plus courts, tout en offrant un haut niveau de flexibilité et de fiabilité des processus. La machine est équipée de deux chambres ioniques haute pression, permettant une gravure ou un cendrage haute pression automatisé, ou une gravure fine grâce à des modulations d'impulsions de gaz. La gamme de pression est sélectionnable de 100 000 à 1 000 torr. La pression de chaque chambre peut être réglée et contrôlée de manière indépendante, ce qui permet à différents procédés de fonctionner simultanément dans le même outil. L'actif peut également être mis en place pour la gravure à la vapeur à double source (DSV), combinant un processus de gravure/cueillette standard avec un processus de cueillette à pression atmosphérique. Le Flex Exelan dispose d'un modèle d'excitation hyperfréquence haut débit pour une gravure ou une cendre efficace et à haute énergie. Cet équipement peut fonctionner dans une large gamme de fréquences de 1,3 à 13,4 GHz, offrant la souplesse nécessaire pour ajuster l'excitation en fonction des exigences du procédé. Le système de gestion thermique haute sensibilité et le gaz Repose Automatic Control (GRAC) sont également inclus dans l'appareil, ce qui permet aux utilisateurs de contrôler avec précision la température et le débit de gaz dans les chambres. L'Exelan Flex est une machine très intégrée, réduisant le besoin de composants supplémentaires et fournissant un outil de gravure ou de cueillette flexible et autonome. LAM RESEARCH/ONTRAK et ONTRAK fournissent des services spécialisés de conception de processus et d'intégration des actifs, permettant aux utilisateurs de personnaliser le modèle selon leurs propres exigences. Tous les composants utilisés dans l'équipement sont largement testés pour garantir la qualité et la fiabilité, ce qui en fait un choix fiable pour les processus de gravure et d'ashing de haute précision.