Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095928 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex est un graveur/asher avancé conçu pour permettre des applications complexes de traitement de substrat. Le graveur-cendrier combine des technologies de gravure ionique réactive à haute densité (RIE) et des technologies de gravure des cendres/cendres pour la fixation et le masquage des substrats dans des applications nécessitant une résolution latérale et une sélectivité élevées. L'ONTRAK 2300 Exelan Flex est équipé d'un équipement de contrôle de mouvement à pression variable basé sur un palier à air pour la précision et la répétabilité des nanofréquences, et dispose également d'une source de radiofréquence (RF) multicouche à résonance électronique-cyclotron (ECR) hautement efficace pour la gravure et le cendrage. Cette source ECR permet un contrôle précis des profils de gravure et de la sélectivité, ce qui conduit à des temps de cycle plus rapides et à des résultats plus cohérents. L'etcher/asher dispose également d'une serrure multizone optimisée avec un système automatisé de manutention des substrats qui assure une livraison fiable et répétable des substrats. Il comprend également une unité de dépression externe à turbo-pompe qui permet un débit plus élevé. De plus, LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex est conçu pour être entièrement automatisé. Les recettes de processus automatisées peuvent être programmées pour une variété de substrats et de processus, y compris les cendres/cendres multi-chambres et les recettes RIE. Le matériel et les logiciels permettent une intégration facile avec les systèmes et les réseaux existants. Dans l'ensemble, 2300 Exelan Flex est un graveur/asher de substrat avancé qui répond aux besoins d'applications nécessitant des procédés nanométriques de haute précision sur une grande variété de substrats. Avec sa machine de contrôle de mouvement à pression variable, son outil de verrouillage de charge et d'entraînement de broche multizone optimisé et son atout sous vide externe basé sur la turbo-pompe, il offre des résultats incroyablement rapides, précis et cohérents. C'est un choix idéal pour les applications de nanofabrication qui nécessitent des procédés sophistiqués de gravure et d'ashing.