Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9119643 à vendre en France
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Vendu
ID: 9119643
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
Dielectric etcher, 12"
Process: OX
Software Revision: 1.7.2 SP2 HF4 CST2
Factory Automation: OHT PIO Sensor
AMHS: AMHS - OHT
Carrier: FOUP
Interface: 3 carrier stage
Online Connection: GEM / CIM JGJ
Hardware Interface : Ethernet 100Base-Tx
Utility Box: Air/AR2500(SMC), N2/SQ-420E
He/SQMICRO(VERIFLO)
Utility Box: Manual Valve : OGD20V-6RM-K / OGD10V-4RM-K (CKD)
Utility Box: Pressure Gauge : Bourdon Gauge
Platform Type: Version 2
UPS on system: Yes
Earth Leakage Breaker
Gas Box: Transport Module, GIB for 16 lines IGS GBX
Signal Tower: Red/Orange/Green/Blue
EMO: (2) Front, (6) Rear
Foreline: Not Heated
Sub-panel: Dual Drop Sub-panel
Interconnect Cables: TM to sub-panel, 50 ft
Pump to TCU: 50 ft
TCU to PM: 50 ft
PM to Pump Interconnect: 50 ft
Inter Lock: Gas Box Door
Inter Lock: External
Support Remote Units
Chiller Lower: ATS DEX 20A
Coolant: FC3283
Chiller Hose: 5/8 ID Braided Stainless Flex
RF Generator 2 MHz: Including RF Cable Tru-8743-07
RF Generator 27 MHz: Including RF Cable Tru-8743-07
RF Matcher, 2-27 MHz, DFC: RF Matcher, 2-27 MHz, DFC
Wafer ID Reader: WIDS Bottom Read
Carrier ID Reader: Asyst RF Advantag
EIM Server: EIM Server-One EIM server per 8 frames
Hardware Configuration
Process Ch.1,2,3,&4: 2300 Exelan Flex
Wafer Input Buffer Station: KIT,JIT<OPT<25 STATION BUFFER,300MM
Endpoint type: Optical Emission Spectroscopy
ESC type: Dual Zone/Flex Bipolar
Focus ring: Hot Edge, Si
High-conductance Wap Ring: 4 Ring
Gap: 2.34 cm
TMP: ALCATEL ATH,1600M
Dry Pump: IH600
Transfer Module Backing Pump: EPX with N2 Gas Module
Pressure Monitor: C/M ( Process Monitor ) 628B01TDE1B (MKS ) 1 Torr
Pressure Monitor: C/M ( Service Monitor ) 625A-14059 10 Torr
Pressure Monitor: C/M ( Foreline Monitor ) 625A-14059 10 Torr
Pressure Monitor: Absolute Pressure switch 75 Torr Lam P/N 768-093959-001
Pressure Monitor: Differential Pressure switch Activation 7mm Hg Vac Precision Sensors
P/N D48W-14
Upper Electrode: Heated Constant Temperature Control
Coolant Temp Monitor Kit: Coolant Temp Monitoring Kit for Top Plate & Lower Electrode
O-Rings: FluoroSilicone
Chamber Isolation Valve: Barrier Seal Door
Wafer Lift Mechanism: Direct Drive
Gas Position
Gas line 1-C4F8 50 sccm- AERA FC-D780CU
Gas line 2-O2 50 sccm- AERA FC-D780CU
Gas line 3-CHF3 100 sccm-AERA FC-D780CU
Gas line 4-CF4 200 sccm-AERA FC-D780CU
Gas line 5-30% O2/HE 100 sccm-AERA FC-D780CU
Gas line 6-C4F6 50 sccm- AERA FC-D780CU
Gas line 7-CH2F2 50 sccm-AERA FC-D780CU
Gas line 8-CF4 1000 sccm- AERA FC-D780CU
Gas line 9-H2 1500 sccm- AERA FC-D780CU
Gas line 10-AR 1000 sccm- AERA FC-D780CU
Gas line 11-N2 1000 sccm- AERA FC-D780CU
Gas line 12-O2 3000 sccm- AERA FC-D780CU
Tuning Gas: 30% O2/HE 50 sccm-AERA FC-D780CU
Gas Box Configuration
Purge: N2 (Process Grade N2)
Filter: Final gas : Mykrolis
Gas Box Inlet Option: Regulated Inlet Gas Panel
Non-standard PM/GB Feature: Enhanced gas box with 12 gas lines.
Gas Line Pressure Transducer: Actual pressure transducer WITHOUT digital readout
Regulator: SQMICRO (VERIFLO)
Piping: Single Contained Hasteloy Piping (Gas box to Final valve & Exhaust through Gas
box)
Final Pressure Switch: Absolute Pressure switch 400 torr Lam P/N 796-002833-003
Process Kit Config
Upper Outer Electrode: ASSY,ELCTD,OUTER,.18 STEP,300M
Upper Inner Electrode: ASSY,ELCTD,INNER,TC,300MM
Quartz WAP Ring: RING,WAP,Twist Lock,17IN,300MM
Quartz Generic Ring: RING,WAP,QTZ
Gas Feed Ring: Ring, Ptn, Gas Feed, Dual Zone
Dual Zone ESC: ESCASSY,DZ CLG,2 FNSH,300MM
ESC Bolts: ESC Bolts - 10-32 x1.125 lng, vented
Edge Ring Cover (In): COV,H/E RING,QTZ
Focus Cover Ring: B,FOCUS R CVR,DFC 300MM
Hot Edge Ring: RING,HOT EDGE,.195 HGT,SI,DUAL ZONE ESC
Edge Ring Cover (Out): RING,COVER,OUTER,GND
Fixed Coupling Ring: RING,TOP,ADJ,CPLG,2300,300MM,D
Ground Shield: SHLD,GND,300MM,2300
Liner: LINER/SPCR,EXT GND RING,2.0CM GAP
4-ringer Hangers: HANGER,4R,.025,.08-.08-.12-.12,.010FW
Retainer Spring: ASSY RETAINER SPRING
1/4-20 Peek Nut: NUT,1/4-20,VIRGIN PEEK
Peek Clocking Washer: WSHR,FL,PEEK,.263IDX.682ODX.06THK
Peek Sleeve: SLV,ADPTR,SLIP-ON,SELFCNTR,V PEEK
0.010" Peek Pad: PAD,R,CONF,.010THK.300MM
2008 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex etcher/asher est une solution flexible et peu coûteuse pour une variété de procédés de gravure/cendres. Il est conçu spécifiquement pour la gravure profonde, économique et performante ; et est conçu pour une excellente uniformité sur plusieurs échantillons. L'Exelan Flex est un équipement tout-en-un composé d'un système de distribution de gaz, de deux autocommutateurs, d'un contrôleur et d'un générateur de puissance RF de 50 kHz commandé par ordinateur. Ce graveur/asher dispose d'une série unique de modèles de buse à billes de résine qui offrent une large couverture de surface et même la gravure de grands échantillons. L'Exelan Flex offre d'excellentes performances en gravure de tous types de substrats, avec une vitesse de gravure profonde de 1,5 micron/min et une profondeur de gravure totale de 50 microns. Cet etcher/asher est équipé d'une unité de commande capable de fournir des profils de gravure fiables et reproductibles et une exécution de recette pour plusieurs types de gravures. Le contrôleur fournit aux utilisateurs une gamme de paramètres d'optimisation de processus tels que : temps de processus, puissance, pression de gaz, niveau d'autodrimpot, et plus encore. Les utilisateurs peuvent contrôler le profil de gravure depuis le mode impulsionnel, qui offre une fenêtre de gravure de faible à haute puissance, jusqu'à un profil de gravure de puissance constante. L'Exelan Flex est également équipé d'une machine de remblayage à base d'azote, ce qui permet une diminution de la voie libre moyenne pour les électrons et permet à la gravure de nécessiter moins de puissance. L'outil de remontée dispose également d'une sonde de détection de niveau pour maintenir une pression de remontée de gaz constante. De plus, un moniteur de vitesse de gravure basse pression est fourni pour indiquer les vitesses de gravure en temps réel et s'assurer que les utilisateurs peuvent suivre de près l'avancement de leurs processus de gravure. L'Exelan Flex est livré avec un générateur RF, un trépied, des autodrimpots et un contrôleur, ce qui le rend facile à configurer et à utiliser. Cet atout consiste également en un modèle de contrôleur avancé qui permet aux utilisateurs de programmer et stocker jusqu'à 64 recettes de gravure pour une flexibilité maximale. De plus, ce contrôleur fournit aux utilisateurs une interface informatique intuitive et un moniteur couleur tactile de 7 pouces pour un contrôle et une surveillance faciles. Dans l'ensemble, l'ONTRAK 2300 Exelan Flex est un graveur/asher économique et fiable qui offre aux utilisateurs une variété d'options pour des processus de gravure flexibles. Cet équipement offre d'excellentes performances, des profils de gravure reproductibles et un contrôle sophistiqué pour toute une gamme d'applications de gravure.
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