Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9205200 à vendre en France
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Vendu
ID: 9205200
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
Dielectric etcher, 12"
Process: Oxide etcher
Cassette type: (25) Slots Cassette
PM1: LAM 2300 Exelan flex
PM2: LAM 2300 Exelan flex
PM3: LAM 2300 Exelan flex
Gas system type: IGS Gas box
Options:
ESC Type: 385
ESC Cooling: Dual zone
Upper electrode: Heated
Bias match:
2 MHz (5000 W)
27 MHz (3000 W)
12” Turbo pump: 1600 L/s EDWARDS
Endpoint detection: OES
ATM Configurations:
Front end loadport cassette: 3 FOUP
Cassette ID: Hermos carrierid
Factory automation: OHTPIO Sensor w / Light curtain
Input buffer station: (25) Slots
VTM Configurations:
Conditioning station A: No
Conditioning station B: No
Airlock wafer fingers: Stainless wafer pads
Backing pumps for TM: EDWARDS EPX180
Peripherals:
TCU Config: ATS DEX-20A (HT200)
Scrubber
Gas box:
MFC Type: Unit 8561
(12) Gas lines
Tuning gas1 type: O2
Tuning gas1 flow: 10 sccm
Gas box configuration:
Line MFC Type Gas type Gas flow
Line1 Unit 8561 Ar 1000
Line2 Unit 8561 O2 3000
Line3 Unit 8561 CH2F2 100
Line4 Unit 8561 N2 500
Line5 Unit 8561 CO 500
Line6 Unit 8561 CF4 200
Line7 Unit 8561 C4F8 50
Line8 Unit 8561 C4F6 50
Line9 Unit 8561 SF6 100
Line10 Unit 8561 O2 50
Line11 Unit 8561 CHF3 100
Missing parts:
(3) Flex 45 chambers
LAM 2300 ATM Robot o-ring
Ring
He
ESC 38x
RND, 300 M
2005 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex est un équipement de pointe de graveur/asher qui fournit des performances supérieures pour une variété de processus d'ingénierie. Le système comprend une suite entièrement intégrée de modules, composants et outils qui permettent la plupart des techniques modernes de gravure, de nettoyage du plasma et de modification de surface. Cette flexibilité et cette automatisation permettent des processus régulièrement programmés et répétables comme la photolithographie, la gravure, le nettoyage du plasma et la modification de surface deviennent plus rapides et plus efficaces. L'unité de haute précision est équipée d'un contrôleur Active End-Point (AEP) programmable, permettant une variété de profils de gravure et régulant la gravure et les processus propres. Au fur et à mesure que le processus de gravure progresse, l'AEP ajuste automatiquement le temps et le courant de gravure, ce qui assure une vitesse de gravure constante tout au long du processus. Cela permet d'améliorer la qualité, la répétabilité et la productivité des projets d'ingénierie. L'AEP est capable de gérer des appareils de différentes tailles, hauteurs et formes et peut mesurer l'avancement de la gravure à travers le profil du matériau. Cette machine est entièrement personnalisable pour être optimisée pour différents processus afin de répondre aux besoins des utilisateurs. Il comprend un outil de contrôle de pression à surpression variable réactive vers l'avant (OVRF) qui est capable d'atteindre des conditions de vide ultra-bas jusqu'à 0,0001 Torr. Cette faible capacité de pression permet une meilleure précision de gravure et une meilleure adhérence des matériaux photorésistants sur le substrat. Il offre également un contrôle de finition de surface et une gestion avancée de la gravure des matériaux. Il dispose d'un moyen de contrôle des soupapes performant qui permet d'interrompre le processus en moins d'une seconde pour réduire le risque de contamination. En utilisant le firmware EPA (Etching Process Automation), le modèle dispose de diverses fonctionnalités automatisées pour simplifier la configuration et l'optimisation des cellules. Cela comprend un registre des processus, des assistants de configuration, l'analyse des tendances, le suivi des performances, l'optimisation du temps de cycle et le traitement de la recette unique. Cela permet d'assurer la cohérence, la répétabilité et l'exactitude. L'équipement peut être facilement surveillé et contrôlé grâce à un système de contrôle intégré et à distance. Il offre des temps de réponse rapides sur le réseau et est compatible avec les logiciels populaires pour surveiller et contrôler facilement divers paramètres. L'accès à distance permet une résolution de problèmes plus rapide, une analyse à distance, des cycles de maintenance plus rapides et des audits de traçabilité. ONTRAK 2300 Exelan Flex est une unité de gravure avancée qui offre précision, flexibilité et automatisation pour une variété de processus d'ingénierie. Avec ses fonctionnalités automatisées et ses composants haute performance, cette machine de pointe fournit des outils pour la gravure rapide, précise et efficace, le nettoyage du plasma et la modification de surface.
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