Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9232235 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex est un graveur/asher conçu pour produire des dispositifs et des motifs de haute précision sur plaquettes. C'est un graveur/asher de pointe qui utilise la technologie ProExel pour graver avec précision et ashe le silicium et d'autres matériaux en utilisant une combinaison de dépôt physique en phase vapeur (PVD) et de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) sur des plaquettes de tailles et d'épaisseurs variables. Le graveur-asher est composé de plusieurs composants, dont une source de plasma modulée en fréquence, une chambre de décollement horizontale, un réacteur à plasma humide, une chambre de décollement vertical, une chambre de décollement et un verrou de charge. La source de plasma produit des ions à haute énergie qui interagissent avec le matériau gravé pour améliorer la sélectivité des gravures et réduire les taux de gravure. La chambre de soulèvement horizontale permet aux opérateurs de basculer et de faire tourner les plaquettes, ce qui leur permet de se déplacer librement tout au long du processus. Le réacteur à plasma humide produit des profils de gravure uniformes sans avoir besoin de films de protection de plaquettes ou d'une chambre séparée. La chambre de décollage verticale et la chambre de gravure améliorent encore l'automatisation du processus de gravure, permettant aux opérateurs de surveiller de plus près la vitesse de gravure et la sélectivité pour les architectures complexes. Enfin, le verrou de charge assure que les plaquettes restent solidement verrouillées tout au long du cycle de traitement. ONTRAK 2300 Exelan Flex etcher/asher offre plusieurs avantages qui en font un choix populaire pour une variété d'applications de processus au niveau de l'appareil. Il peut fonctionner à des températures allant jusqu'à 800 ° C et est capable de produire des géométries critiques avec une précision répétable. Le graveur/asher peut être utilisé pour créer une variété de métaux et d'alliages avec d'excellents profils de gravure qui les rendent idéales pour les applications MEMS, IO, microfluidiques et III-V. Le graveur/asher offre également une flexibilité avec les revêtements, y compris la possibilité de déposer une large gamme de métaux, de couches diélectriques et d'empilements diélectriques. Enfin, l'Exelan Flex etcher/asher est l'un des graveurs/cendres les plus efficaces sur le marché, permettant des processus à haut volume sans sacrifier la qualité.