Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9235397 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex est un équipement avancé de gravure et de cendrage conçu pour le traitement à haut débit de structures de dispositifs complexes. Il est capable de graver l'oxyde, le nitrure et d'autres matériaux diélectriques, ainsi que d'éliminer les composés organiques carbonés non volatils, à des vitesses extrêmes avec une uniformité et une précision exceptionnelles. L'Exelan Flex utilise un générateur double RF, permettant des taux de gravure élevés en mode alternatif et continu, avec des niveaux de puissance réglables pour un contrôle optimal. Le système comprend également une unité de distribution de gaz multi-sources qui permet d'introduire jusqu'à trois gaz lors du processus de gravure pour une plus grande flexibilité. Le Flex Exelan offre une combinaison de gravure à faible pression couplée capacitivement et à couplage inductif (CCP et ICP), offrant des performances supérieures pour une large gamme de structures d'appareils. Sa machine de commande de pointe est dotée d'algorithmes puissants de logique mathématique (MLU) qui se combinent avec la tension de polarisation ajustable par l'utilisateur, la pression de gaz et d'autres paramètres de commande pour obtenir une répétabilité et une uniformité de processus supérieures. L'Exelan Flex possède également d'excellentes caractéristiques de sécurité, répondant aux normes les plus strictes de l'industrie. Sa chambre d'étanchéité complète assure un confinement fiable des gaz de procédé et des sous-produits dangereux, permettant un fonctionnement sûr dans un environnement à basse pression. Il intègre un outil d'auto-nettoyage automatisé qui réduit ou élimine les exigences de travail manuel pendant l'exploitation, et un actif complet de contrôle des stocks de processus qui automatise les opérations de manutention du matériel et facilite la mise en place rapide et un fonctionnement très efficace. L'Exelan Flex a été largement adopté dans l'industrie de la microélectronique en raison de ses performances supérieures et de sa fiabilité. Sa capacité à traiter une large gamme de matériaux diélectriques à des vitesses de gravure ultra-élevées avec une excellente uniformité et répétabilité le rend idéal pour une utilisation dans la production de circuits intégrés haute performance, de dispositifs VLSI et ULSI, et d'une variété d'autres composants microélectroniques. Ses caractéristiques de sécurité avancées garantissent la sécurité du personnel et de l'équipement, tandis que son modèle complet de contrôle des processus garantit des résultats cohérents. Toutes ces qualités combinées font de l'ONTRAK 2300 Exelan Flex un excellent choix pour une fabrication optimale de dispositifs microélectroniques.