Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9237871 à vendre en France

ID: 9237871
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Dielectric etcher, 12" (2) Chambers 2300 Transport module Dual arm effector wafer handling, 12" Automated wafer centering Flat / Notch finding User interface Side monitor Press gauge in SI unit Online: GEM 300 (2) 2300 Exelan flex DD etch process modules Fixed gap electrode / One box ALCATEL 1600MT Dual gas feed Dual zone ESC Heated upper electrode (2) 12 Gas configurations 2 PM stack kit System UPS circuity Seismic bracket (TM / PM / MWS) System weight dispersion plate (TM / PM / RPM) ELB With ring lug (24) MFC 1661 Units (2) PIO Sensors (2) OMRON Tag readers Analog press gauge in SI unit Digital press gauge in SI unit Signal input / Output Quick cleaning kit 2300 Exelan Pend valve CLN kit (2) TCU: ATS DEX-20A Chillers (3) FOUP 2004 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex est un puissant équipement de gravure et d'asher spécialement conçu pour répondre aux besoins de l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Construit sur la plate-forme de traitement brevetée Exelan, ce système avancé offre le plus haut niveau de précision et de performance pour la gravure humide et sèche et le cendrage. L'unité Flex d'Exelan utilise une interface graphique intuitive, permettant aux utilisateurs de contrôler les chambres individuelles et de surveiller les conditions pendant les opérations de gravure et d'asher. Un enregistreur de données intégré permet aux utilisateurs de suivre et de surveiller tous les paramètres et points de données tout au long des processus. Ces données peuvent être utilisées pour identifier les corrélations entre les processus de gravure et d'asher et la qualité du produit final qui en résulte. La machine hautement avancée dispose de techniques de traitement propriétaires telles que la gravure à double mode, qui permet la gravure simultanée et le cendrage. Cela permet aux utilisateurs de réduire le temps nécessaire pour le processus complet de gravure et d'ashing et de maintenir des résultats cohérents tout au long de la production. De plus, l'outil offre des possibilités de gravure bidimensionnelle, permettant de graver des formes inclinées ou courbes. L'Exelan Flex dispose également d'une plaque de chauffage amovible, permettant un entretien et un contrôle des processus faciles et précis. De plus, la plaque chauffante peut être chauffée jusqu'à 500 ° C Cela permet aux utilisateurs d'obtenir un contrôle total des processus pour les processus de gravure et d'ashing avancés. Enfin, l'actif comporte des mesures de sécurité intégrées, empêchant les scénarios de surchauffe et réduisant les temps d'arrêt. Dans l'ensemble, l'ONTRAK 2300 Exelan Flex est un modèle de gravure et d'ashing puissant qui offre aux utilisateurs les plus hauts niveaux de précision et de performance. Grâce à l'utilisation de la gravure double mode, de la gravure bidimensionnelle et d'une plaque chauffante amovible, les utilisateurs peuvent assurer la cohérence et le contrôle total du processus tout au long de la production. En outre, les mesures de sécurité et un enregistreur de données intégré fournissent des couches supplémentaires de protection et de suivi des données.
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