Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9240729 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex est un appareil de gravure plasma de haute précision doté d'une technologie plasma brevetée. Ce graveur est conçu pour une large gamme d'applications de semi-conducteurs, avec une qualité de gravure supérieure, une grande stabilité de processus, et une excellente uniformité. Il offre une large gamme de températures et supporte un large éventail de conditions de fonctionnement. L'etcher peut également être utilisé dans des applications de regroupement et peut accueillir jusqu'à huit chambres de processus, permettant une gravure simultanée des composants. L'Exelan Flex est alimenté par une source de plasma pulsé, permettant un contrôle supérieur du procédé de gravure pour des applications telles que la gravure, la gravure d'oxyde de grille, la gravure de nitrure et la gravure à haut rapport d'aspect. Son système avancé de traitement du plasma utilise un champ magnétique multidimensionnel pour générer une distribution uniforme du plasma et un profil de gravure hautement reproductible. Il en résulte une uniformité de profondeur de gravure supérieure et des ondes stationnaires de faible dispositif. Il dispose également d'un mélangeur à gaz intégré et d'un panneau de gaz automatisé pour le contrôle dynamique des processus. L'etcher est équipé d'une unité de détection optique d'extrémité embarquée pour surveiller le processus de gravure. Il dispose également d'une machine de contrôle automatisé qui surveille et ajuste les paramètres de gravure pour permettre des profils de gravure précis et reproductibles. Le Flex Exelan a une faible empreinte et peut être facilement intégré à d'autres équipements, tels qu'un chargeur de plaquettes, un manipulateur de robot ou un outil d'inspection post-gravure. Il dispose d'une conception modulaire qui permet une personnalisation complète des configurations d'actifs, tout en assurant une maintenance et un transfert de processus faciles. En conclusion, l'ONTRAK 2300 Exelan Flex est un graveur hautement innovant conçu pour une large gamme d'applications de semi-conducteurs, avec une qualité de gravure supérieure, une grande stabilité du procédé et une excellente uniformité. Sa technologie avancée de traitement du plasma et son profil de gravure hautement reproductible en font un choix idéal pour les procédés de gravure par plasma.