Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9329258 à vendre en France

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex est un graveur/asher haute performance adapté à la fabrication de circuits avancés. L'instrument est équipé d'un large éventail de caractéristiques telles qu'un étage de plaquette d'entraînement linéaire, des étages d'inclinaison 12 bits et un scanner de placement de capteur d'exposition. Il est conçu pour les processus de gravure humide et sèche et peut être utilisé pour graver une variété de structures de films minces et épaisses, allant des interconnexions métalliques jusqu'à 2 microns. De plus, le 2300 Exelan est adapté à un large éventail de procédés, notamment : rugosité, création de jonctions ultra-peu profondes, contacts de fabrication, micro-tranchées et gravure de polyimides. Le 2300 Exelan dispose de plusieurs options avancées, comme un équipement de contrôle de la concentration de gaz (GCCS) pour contrôler les processus de gravure et de dépôt, ainsi qu'un générateur RF compact (CRG) et une alimentation programmable (PPS) pour un contrôle précis des paramètres du processus. En outre, le système est équipé d'un spin-coater haute résolution, d'une source de plasma plus propre et d'un moniteur ex-situ rapide qui permet de contrôler avec précision les produits chimiques et les paramètres critiques du processus. Le 2300 Exelan est également capable de fonctionner à haut débit, avec jusqu'à 100 wafers/heure de capacité de gravure. Ce débit est obtenu en plaçant quatre à huit plaquettes sur l'étage de plaquette pour chaque recette, puis en affinant les paramètres pour chaque couche de chaque recette de gravure en fonction des besoins spécifiques du client. En outre, l'unité est conçue pour réduire les erreurs dépendantes de l'opérateur, avec un HMI intuitif (interface homme-machine) qui simplifie la configuration de la recette et élimine les processus d'alignement et d'étalonnage manuels fastidieux. Le 2300 Exelan est très polyvalent dans ses capacités ; en plus de graver des couches métalliques au niveau des plaquettes, il peut également graver des matériaux non conducteurs, tels que des couches organiques, y compris des couches de résist, de verre et de nitrure. La machine est également conçue pour des applications de haute précision, avec un débit de gaz extrêmement bien contrôlé, une faible charge en particules et des paramètres précis et reproductibles. Dans l'ensemble, l'ONTRAK 2300 Exelan Flex est un graveur/asher haute performance conçu pour fournir une précision et un débit supérieurs pour la fabrication de circuits avancés. L'outil offre une variété de fonctionnalités pour assurer la répétabilité du processus, y compris un spin-coater haute résolution, un nettoyant de source de plasma, un GCCS, et un HMI hautement intuitif. Il est également conçu pour les opérations à haut débit, avec jusqu'à 100 plaquettes/heure de capacité de gravure et la capacité de graver un large éventail de types de matériaux.