Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9393139 à vendre en France
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LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex est un graveur/asher conçu pour effectuer des analyses rapides de substrats plats et de grandes dimensions. Il est le plus souvent utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la fabrication de dispositifs. L'etcher/asher utilise l'énergie RF couplée inductivement et la gravure par faisceau d'électrons en écriture directe pour obtenir des débits élevés dans le dépôt et la fixation d'un réseau de matériaux. L'équipement est également équipé d'une source hyperfréquence et de deux sources de plasma pour effectuer la gravure d'oxyde mince. En outre, ce système est capable de traiter l'aluminium jusqu'à 2,5 μ m d'épaisseur et l'oxyde d'aluminium jusqu'à 5 μ m d'épaisseur. L'intégration Work-in-Progress et Reel-to-Reel de l'unité offre un rendement élevé en débit et en puissance, tandis que son moniteur d'inspection peut être utilisé pour inspecter les plaquettes imprimées en continu sans avoir besoin de masque et d'imagerie optique. En outre, l'Exelan Flex a une conception de réacteur flexible qui permet un accès facile à chaque chambre de procédé et une machine de chargement rétractable pour un traitement robuste et efficace. L'Exelan Flex est contrôlé par un logiciel PC adapté à l'opérateur qui offre à l'utilisateur une gamme d'outils pour configurer chaque étape de processus avec une touche d'un bouton. En plus des instructions régulières et de l'exécution du programme, l'outil permet le contrôle manuel et la configuration des paramètres du processus et assure un suivi en temps réel de l'état du processus de chaque chambre. Il fournit également de nombreuses fonctions d'autodiagnostic qui surveillent continuellement les performances de l'équipement. L'Exelan Flex est également compatible avec de nombreux formats CAO populaires et bénéficie d'un design modulaire qui lui permet d'être facilement intégré dans les lignes de production existantes et d'automatiser l'ensemble du processus. Il s'agit d'un graveur/asher fiable et convivial qui est bien adapté à la fabrication d'une large gamme de substrats, y compris le silicium, le verre, le plastique et les alliages métalliques. Dans l'ensemble, l'ONTRAK 2300 Exelan Flex est un graveur/asher avancé et rentable, ce qui en fait un choix idéal pour l'industrie des semi-conducteurs qui a besoin d'un traitement et d'un dépôt à grande vitesse.
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