Occasion LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9245885 à vendre en France
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Vendu
ID: 9245885
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2009
Etcher, 12"
2009 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45 est un asher/etcher utilisé pour les processus de soustraction pour créer des fonctionnalités miniaturisées sur les substrats. Il est équipé d'une conception à deux chambres qui permet à l'utilisateur de graver simultanément différentes couches sans avoir à arrêter le processus et recharger la chambre avec un nouveau substrat. Le Kiyo45 a un étage X-Y de 21 pouces, haute résolution, deux fois la vitesse de son prédécesseur, et un étage motorisé offrant une répétabilité rapide et précise pour l'optimisation des processus. Le Kiyo45 est un graveur de processus soustractif et est conçu avec deux réacteurs - supérieur et inférieur. La chambre supérieure est équipée d'une source de plasma à couplage inductif (ICP), constituée d'une alimentation RF et d'une chambre de source. La source du PIC fournit un plasma RF à haute densité, idéal pour la gravure des métaux et autres matériaux durs. La chambre basse est équipée d'une source de plasma haute densité, haute puissance, basse pression (DPP). La source DPP est utilisée pour la gravure d'une grande variété de matériaux, de la céramique aux films et résines. Le Kiyo45 est également livré avec un mandrin spin-to-clamp (STC) pour assurer un contact uniforme des plaquettes et prévenir les dommages pendant le traitement. De plus, le Kiyo45 est équipé d'une étape motorisée X-Y sans adhérence, 1000 pas/seconde, afin de maximiser la vitesse et la précision du processus. De plus, l'étape X-Y répond rapidement et est répétable pour l'optimisation rapide et précise du processus. Le Kiyo45 est offert avec un système de visualisation Multi-View puissant permettant à l'utilisateur de contrôler et de surveiller le processus grâce à la visualisation de données en temps réel. Le logiciel CONTROL ESC qui l'accompagne permet à l'utilisateur de contrôler divers paramètres de gravure tels que la puissance RF, la pression, les débits de gaz et les séquences de synchronisation. Le Kiyo45 etcher/asher est un outil fiable et robuste pour la production de micro-structures sur une grande variété de substrats. Il est conçu pour un fonctionnement rentable, et sert de solution idéale pour la gravure de couches minces, une variété de substrats, le développement de procédés avancés et la recherche.
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